中古 SCL CD 1000 A3 #9022279 を販売中

製造業者
SCL
モデル
CD 1000 A3
ID: 9022279
ヴィンテージ: 1999
Hard coater, 1999 vintage.
SCL CD 1000 A3は、半導体デバイス製造のためのフォトレジスト機器です。この自動化システムにより、低収差の投影露光でウェーハ上のフォトレジスト層を正確に露出・開発することができます。SCL CD 1000は、高度な光学ユニットを使用し、優れたイメージング特性を得るためのユニークな機能を備えています。それに分野の長い深さの良質の光学機械があり、高解像度を保障するためにとりわけ設計されています。低収差投影ツールと0。2 µmの優れた解像度で、CD 1000 A3は容易に優れた画像品質を生成することができます。このアセットは、3次元アライメントで構成された奥行きのある撮影により、高い精度を実現します。このアライメント機能により、正確なフォーカシングポイントが確保され、生産サイクル時間を短縮できます。さらに、ウェーハの1インチあたりの露出精度を高めることで、感光パターン全体の精度を向上させます。SCL CD 1000 A3には「、高解像度、高精度、高速」であるハイスループット開発のための統合モデルも搭載されています。これには、オンラインプロセス制御を活用し、短時間でも高精度な加工と生産性を実現します。また、UV、 ディープUV、レーザー光源などの照明タイプも幅広く提供しています。これらのソースは、アプリケーションに応じて露出条件を変更することが容易になります。全体的に、CD 1000 A3は半導体デバイス製造のための優れたフォトレジストシステムです。高い精度と高精度をユーザーに提供し、ハイスループット開発を可能にする統合ユニットを搭載しています。さらに、さまざまなアプリケーション要件を満たすためにさまざまな照明タイプを提供しています。
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