中古 SAUNDERS 5400D #9106450 を販売中

SAUNDERS 5400Dは、汎用性が高く、簡単で信頼性の高いフォトリソグラフィのためのモジュラープラットフォームに基づいたフル機能のフォトレジスト機器です。その中核となるシステムは、最新の技術と設計機能を活用して、さまざまなフォトレジストアプリケーションで優れた性能を発揮します。5400Dは、CCDカメラを搭載した高解像度レンズ倍率ユニットと、可変絞りとスポットサイズを採用しています。このマシンは、幅広い処理パラメータにわたって汎用性の高い動作を可能にします。さらに、このツールは、基板と光源の互いに対する正確なアライメントに対応するための高いモーションコントロールを備えています。また、このアセットはレーザースキャンサブシステムと統合されており、非常に複雑なパターンを高精度で再現性のある露出を可能にします。レーザースキャナーを使用してレジストパターンを検査することもできます。SAUNDERS 5400Dはまた、フォトレジストモデルの制御を簡素化する高度なユーザーインターフェイスを提供しています。ユーザーインターフェイスは、さまざまなグラフィカルプログラムパラメータの選択を可能にし、機器内のさまざまな機能を使用する方法の詳細な指示が含まれています。さらに、ユーザーインターフェイスはカスタマイズ可能で、ユーザーは特定のニーズに応じて特定の設定とマクロをカスタマイズできます。5400Dには、自動レジストローディング、アンロード、アライメント機能もあります。自動化されたレジストローディングにより、手動でアライメントを設定することなく、基板を素早く効率的にロードおよびアンロードできます。自動化されたアライメント機能により、基板を光源に自動的にアライメントすることができ、高精度なパターンのパターン化が可能です。安全性に関しては、SAUNDERS 5400Dは、LN2の安全基準とMIL-Std-1683を含む最高の安全基準を満たしています。過熱や過電流保護などの自動フェイルセーフメカニズムを備えているため、ユーザーは安心して事故やシステムの損傷を抑えることができます。全体的に5400Dは、幅広い用途に対応する信頼性の高い高性能フォトレジストユニットを提供しています。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、高レベルのモーションコントロール、高度な安全機能により、フォトレジストユーザーに最適です。