中古 SANYU WB #187221 を販売中
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SANYU WBは、半導体デバイスの製造に使用するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、1つまたは複数のフォトレジストを選択した基板にパターン化し、高品質のパターン化ステップを提供します。WBユニットは、ユーザーが素早く簡単にフォトレジストのフィルムで基板をコーティングできるように設計されたスプレーオンまたはスピンコーティングフォトレジストマシンです。このフォトレジストは、フィルムの特定の領域を硬化させるために紫外線(UV)放射にさらされ、望ましいパターンを作り出します。このツールは、基板上で高品質のフォトレジストパターンを生成するために協力するいくつかのコンポーネントで構成されています。スプレーメータリングユニット、イメージングユニット、硬化ユニットが含まれます。計量ユニットはフォトレジストを基板に分配し、最大4つの異なるUVマスクを使用してイメージすることができます。所望のパターンをイメージしたら、硬化ユニットを使用して適切に硬化させます。SANYU WBアセットは、従来のフォトリソグラフィ手法に比べていくつかの利点を提供します。例えば、その噴霧機構は、フォトレジストを基板全体に均等に分散させることができるため、スピンコーティングのようなウェットアプリケーションに最適です。さらに、4つのマスクは複雑な形状をパターン化する際の柔軟性を高めます。最後に、その硬化ユニットは、フォトレジストパターンが最高水準に硬化することを保証します。全体的に、WBモデルは、半導体デバイスの製造に使用するための基板にフォトレジストを迅速にパターニングするための理想的なツールです。迅速で簡単なコーティングと幅広いパターニング機能、高品質の硬化を提供し、半導体設計者にとって非常に貴重な資産となっています。
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