中古 SANYU SC-701AT #9137340 を販売中

SANYU SC-701AT
製造業者
SANYU
モデル
SC-701AT
ID: 9137340
ウェーハサイズ: 6"
Carbon coaters,6".
SANYU SC-701ATは精密なリソグラフィープロセスのために設計された洗練されたフォトレジスト装置です。このシステムは、ガラスや半導体材料などのターゲット基板上に高精度な画像を配信することができます。µHPTスクライビングプロセスは、基板に影響を与えることなく、フォトレジスト層にパターンをスクライビングするためにUVレーザーを使用します。高精度のアライメントとフォーカスオプティクスにより、スクライブされたパターンの正確な配置と正確な登録が可能になり、0.5µm以上の正確な印刷解像度を保証します。SC-701ATは、イメージングと製造精度を最大化する豊富な機能を備えています。完全に自動化されたクローズドループ制御ユニットは、基板の材料特性と、スクリブパターンの速度、解像度、パターンなどのパラメータを考慮に入れています。この高度なマシンには、正確なスクライビング深さ、特定の材料タイプと波形パターンのプログラム可能な設定、リモート制御機能、およびプログラミング用のオプションのオフライン制御モードを保証するオートフォーカスツールも含まれています。高度なソフトウェアパッケージは、プロセス精度を高めるために設定を制御します。グラフィックス機能の広い範囲は、シンプルで直感的なプログラミングを提供します。このソフトウェアは、再現性と精度のオプションと組み合わせて、フォトレジスト処理のすべての要素が一貫しており、必要なすべての仕様に従っていることを保証することができます。SANYU SC-701ATは、高効率かつ高精度な機器を組み込んで、同時にエネルギー消費を削減しながら、プロセス速度を向上させるように設計されています。高度なスクライビングエンジンは生産性を向上させ、高度なレーザーアセットは高品質のイメージングを保証します。さらに、SC-701ATの統合冷却モデルは、機器を最適な温度に保ち、サーマルドリフトを減らし、光学系を正確に制御するのに役立ちます。さらに、強力な制御ソフトウェアは、再現可能な精度を保証し、イメージングおよび製造プロセスのプログラミング時間をサポートし、短縮します。SANYU SC-701ATは、高品質のイメージングと生産性の向上を提供する、非常に信頼性の高い正確なフォトレジストシステムです。高度なイメージングおよび製造設定、高精度アライメントオプティクス、自動化された制御ユニットは、すべてが協力して正確なリソグラフィープロセスと高精度な結果を提供します。
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