中古 SAMCO RPC-300 #9185661 を販売中

製造業者
SAMCO
モデル
RPC-300
ID: 9185661
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 2011
Photoresist system, 4" 2011 vintage.
SAMCO RPC-300は、正確なレジストコーティングと複数の基板の開発を提供するために特別に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、より大きなスループットで優れた性能と信頼性を提供します。RPC-300は85°Cに熱されるインライン多段階の部屋を利用してプロセスの優秀な決断そして均等性を提供します。このユニットは、フォトマスクのアライメントを自動化することで、フォトレジストの薄膜を均一かつ均一に適用することができ、結果としてより高い収率とより良い精度が得られます。SAMCO RPC-300はPLCによって駆動され、あらゆるステップの自動精密制御を提供します。これには、PIDフィードバックを備えたデジタル温度コントローラが含まれており、広い温度範囲での正確な温度制御と正確なタイミングが可能です。それは収穫を最大にするために+/-0。5°Cの高度の熱制御そして精密な抵抗のレベルを利用します。機械にまたデジタル流量計が付いている精密な液体の流れのモニターそして制御があります。これにより、基材に正確なフォトレジストを正確に塗布することができます。RPC-300は、スピンコーティング、対流コーティング、ラミネーション、ドライフィルム応用、ワッシャー技術などの高解像度イメージング技術を利用しています。また、高速シングルパスイメージングにより、より静かな動作と高い精度を同時に提供します。SAMCO RPC-300は、高精度イメージングにX、 Y、シータの動きを利用しています。その三軸イメージングツールは、基板上のフォトマスクの非常に正確なアライメントを提供します。RPC-300はまた、大気汚染を低減するためにCleanAir技術を利用して、環境に優しいです。さらに、ユーザーが機械を操作している間も安全であることを保証するために、防火機能が組み込まれています。SAMCO RPC-300は、精密なレジストコーティングと様々な基材の開発を提供する多くの機能を詰め込む強力な資産です。より高いレベルの信頼性、精度、スループットをユーザーに提供し、フォトレジストシステムに最適です。
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