中古 S CUBED / S3 TX535C #9179981 を販売中

S CUBED/S3 TX535Cは、幅広い写真加工プロセス向けに設計された最先端のフォトレジスト機器です。強力な短波長放射源、基板位置決め用のウェハステージ、フォトレジスト用の自動処理システムで構成されています。このユニットは、20nmの基板分解能と1。0ミクロンの特徴サイズを提供することができます。S3 TX535Cで使用される放射光源は、200ナノメートルから350ナノメートルの波長範囲を可能にする超短波長エキシマレーザです。レーザーは長さ460ナノ秒までのパルスを生成することができ、20ナノメートルの空間分解能が得られます。さらに、レーザーは各パルスの波形を制御することができ、レーザー光線の強度分布を優れた制御が可能です。S CUBED TX535Cのウェーハステージは、XYZモーター調整機と温度安定化ツールを備えており、正確で信頼性の高い基板位置決めが可能です。また、フォトレジスト工程で基板が安定していることを確認するための振動減衰アセットを備えており、直径8インチまでの基板に対応できます。TX535Cの自動制御ハンドリングモデルは、プロセスを効率的かつ一貫したものにするのに役立ちます。自動化されたロボットアームを介してフォトレジストをロード、整列、アンロードし、正確さを確保し、ヒューマンエラーを低減します。装置はまた、各部品の性能を追跡するように設計されており、常に望ましい結果を生み出しています。結論として、S CUBED/S3 TX535Cは20ナノメートルの解像度で一貫した結果を提供するように設計された先進的なフォトレジストシステムです。短波長のエキシマレーザー、高度なウェーハステージ、自動ハンドリングユニットを組み合わせることで、信頼性の高いフォトレジストプロセスのための強力なツールとなります。