中古 RITE TRACK SVG 8826 / 8836 #9209021 を販売中
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RITE TRACK SVG 8826/8836は、プロセスフォトリソグラフィのアプリケーション用に設計されたフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィーは、集積回路とナノスケールのフォトマスクの製造に使用されるプロセスです。露出ユニット、フォトマスク、アルミマスクホルダー、位置決めステージで構成されています。超明るい電子ビーム照明を搭載したSVG 8826/8836の露光ユニットは、サブミクロン範囲で一貫した露出で高解像度の画像を容易にします。これにより、高密度プロセスフォトマスクの開発と精密なマイクロエレクトロニクス製造が可能になります。また、光学アライメントシステムを内蔵しており、迅速かつ正確な画像位置決めが可能です。RITE TRACK SVG 8826/8836のフォトマスクは、紫外線や電子ビーム照射に敏感なシリコングランドガラスで、高解像度の画像とアラインメントを可能にします。アルミニウムマスクホルダーは、フォトマスクを安全に保管および輸送するように設計されています。ホルダーには、機械的ストレスを最小限に抑える機能も装備されており、マスクの表面が滑らかで平らであることを保証し、フォトマスク機能の定義を向上させます。最後に、位置決めステージとX-Yスキャンテーブルにより、迅速かつ正確なアライメントとフォーカスが可能になり、マイクロエレクトロニクス部品の一貫した正確な製造が容易になります。スキャンテーブルは精密ボールねじで駆動され、クローズドループ制御ユニットはスキャンテーブルにフィードバックを提供します。この設計により、露出ユニットとのフォトマスクの正確な位置合わせと適切なアライメントが保証されます。全体的に、SVG 8826/8836は正確で信頼性の高いフォトレジストマシンであり、低からミッドレンジの露出で高精度の解像度の画像を提供します。迅速かつ正確な位置精度と信頼性の高い露光ユニットにより、あらゆるマイクロエレクトロニクス製造プロセスに最適です。
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