中古 RITE TRACK SVG 8800 #9097217 を販売中

RITE TRACK SVG 8800
製造業者
RITE TRACK
モデル
SVG 8800
ID: 9097217
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2002
Coater system, 6", 2002 vintage.
RITE TRACK SVG 8800は、フォトリソグラフィープロセスに産業グレードの精度と精度を提供するように設計されたフォトレジスト機器です。これにより、従来のフォトリソグラフィ技術では実現できなかった超微細なディテールで、繊細で複雑な形状のフォトタイプを構築することができます。SVG 8800は、レーザーユニット、スキャナ、フォトレジストソフトウェア、基板、開発者、マスキング材料など、いくつかのコアコンポーネントで構成されています。レーザーマシンは、エキシマーUVレーザー光を使用して、半導体ウェーハやマスクなどの特定の基板に微細な特徴をパターン化します。高速デフレクターとサブミクロンアドレッサーを使用して、レーザービームを素早く動かし、望ましい構造物が表面にエッチングされている材料に正確に焦点を合わせることができます。このスキャナは、高解像度のイメージングセンサーを使用して、基板に印刷された形状を検出および分析します。フォトレジストソフトウェアは、この情報と希望する出力要件を組み合わせてフォトリシックパターンを作成します。このデザインは、レーザーツールが基板にフィーチャーを正確にエッチングするために使用できるグラフィックパターンのコンピュータ生成バージョンに変換されます。基板はレーザーが刻むのに使用される材料です。これはあらゆる種類の材料であり、通常、フォトリソグラフィープロセスの要件に合わせて選択されます。例えば、半導体ウェーハにはレーザーに耐えられる材料が必要です。基板はまた、レーザー光がエッチングする材料の面積に正確に焦点を当てることができるように、適切な光学特性を有する必要があります。開発者は、基板からの不要な残留物を洗浄してエッチングするために使用されるソリューションです。これにより、ユーザーは画像を微調整し、より複雑なデザインとパターン化された材料のより詳細な機能を作成することができます。最後に、マスキング材料がレーザーによって刻まれる区域をカバーし、不必要な軽い露出からそれを保護するのに使用されています。これにより、エッチングされているグラフィックの複雑な機能は、マスキング素材で覆われている領域にのみ表示されます。結論として、RITE TRACK SVG 8800は、高精度で複雑なパターンを生成するための工業グレードのフォトリソグラフィープロセスを提供する包括的な資産です。それはいくつかのコンポーネントで構成されています。これらはすべて、必要なプロセスを念頭に置いて特別に設計する必要があります。SVG 8800は、さまざまな基板に詳細なエッチングを作成することができ、開発者ソリューションとマスキング材料を使用してさらにカスタマイズすることができます。
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