中古 RITE TRACK SVG 88 #293814158 を販売中

RITE TRACK SVG 88
製造業者
RITE TRACK
モデル
SVG 88
ID: 293814158
ウェーハサイズ: 6"
Coater / Developer system, 6".
RITE TRACK SVG 88は、RITE TRACK Technologiesが開発したマルチステップフォトレジスト機器です。このシステムは、UV対応レーザー露光と化学プロセスを独自に組み合わせ、高精度な基板エッチングを実現しています。プロセス全体は、プロセスのセットアップと制御を簡素化するインタラクティブなグラフィカルインターフェイスソフトウェアプラットフォームによって制御されます。このユニットの中心にはレーザー露出ステージがあり、UVレーザーを使用して基板を露出させます。このレーザー露出は、ウェットやドライエッチングなどの従来の方法では達成できなかった、希望するエッチングパターンの形状と深さの超高精度を提供します。光の波長を正確に制御することができ、その角度を変化させて、材料の無駄を最小限に抑えた正確なエッチングを実現することができます。基質が露出したら、次の段階はエッチングのための基質を準備する表面の化学注入プロセスです。これは、基板を化学溶液と接触させることによって行われます。この溶液は表面に浸透し、エッチングプロセスの影響を受けやすくなります。特定の材料に応じて、この段階で使用できるさまざまな化学物質があります。RITE TRACK 88プロセスの最終段階は、基板の実際のエッチングです。これは、特別なレーザー制御ツールを使用して基板の表面にカットすることによって行われます。レーザービームを正確に制御することにより、エッチング工程を非常に正確な仕様に合わせて調整することができ、望ましいエッチング結果に対して可能な限り最高レベルの精度を保証します。これらのすべてのステージは、ユーザーが簡単にプロセスをセットアップし、制御することができ、インタラクティブなグラフィカルインターフェイスソフトウェアプラットフォームによって制御されます。このプラットフォームは、露出とエッチングのプロセスを視覚的に表現し、レーザー露出、角度、エッチング時間などのパラメータを微調整できます。このプラットフォームにより、機械SVG88迅速かつ正確に非常に正確で信頼性の高いエッチング結果を提供することができます。
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