中古 RITE TRACK SVG 88 #293592399 を販売中

製造業者
RITE TRACK
モデル
SVG 88
ID: 293592399
Coater / Developer system.
RITE TRACK SVG 88は、マイクロエレクトロニクス業界で使用するために設計されたフォトレジスト機器です。最小幅0。3 μ m(マイクロメートル)の超小型相互接続ラインの信頼性の高い生産のためのシングルステップツールであり、微調整された生産速度で高精度を実現します。このシステムは、マイクロリソグラフィーパターンプロセスを介してレジスト材料を紫外線にさらすことによって機能します。紫外線はレジストに吸収され、エッチングされたパターンでレジストを硬化させる反応部位を活性化します。この処理方法により、高精度なレイヤーを容易に回路に集積することができます。このユニットはフォトリソグラフィとエッチングの2段階で設計されています。フォトリソグラフィでは、フォトマスクを使用してレジストで必要なパターンを定義します。マスクは、光に敏感な素材でコーティングされた薄いガラス片です。光に敏感な材料は紫外線にさらされ、それは材料を照射し、それを活性化させ、所望のパターンを発達させます。レジスト上に作成されたパターンは、基材に転送されます。エッチング工程では、フォトレジストパターンを反応性ガスまたは化学物質を使用して基材に移します。基板に使用される材料に応じて、異なるエッチング方法を使用することができます。例えば、リアクティブイオンエッチング(RIE)は誘電材料、金属膜のイオンビームエッチング、有機物や抵抗膜のプラズマエッチングに使用できます。RITE TRACK 88はシングルステッププロセスであるため、非常に小型の高精度な相互接続ラインを生成するために、フォトレジストとエッチングステージを同時に完成させます。SVG88機械の使用法は大きい正確さ、より有効で、費用効果が大きいプロセスおよび改善された柔軟性を提供するので、ユーザーにいくつかの利点を与えます。さらに、より狭いラインや部品の生産を可能にし、より複雑な設計を作成するために使用することができます。このツールは、プリント基板、半導体デバイス、MEMの製造に一般的に使用されており、高精度で正確な部品の効率的な生産を容易にするため、現代の電子機器製造業界でますます普及しています。
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