中古 RITE TRACK 8800 #9093246 を販売中

RITE TRACK 8800
製造業者
RITE TRACK
モデル
8800
ID: 9093246
ウェーハサイズ: 6"
Developer systems, 6".
RITE TRACK 8800は、RITE TRACK、 Inc。が開発・設計したフォトレジスト機器で、希望する厚さやプロファイルを生成するために、基板上に光可塑性ポリマーの薄い層を堆積させることを目的としています。8800は基質のフォトレジストの単一そして複数の層を沈殿させることができます。RITE TRACK 8800は、フォトレジスト層を堆積させるために熱硬化プロセスを使用します。このプロセスは、真空環境で350°Cまでの温度に基板(ITOやSiN層など)を加熱することによって機能します。加熱された基板は、紫外線(UV)光源からの光にさらされます。このUV光源はフォトレジスト分子を重合させ、基板表面に薄いポリマー層を形成します。その後、ポリマーの層が熱的に硬化し、手順が完了します。熱硬化プロセスは、さまざまなタイプのレジストプロファイルを達成するために微調整することができます。これらのレジストプロファイルには、薄い均一なレイヤーだけでなく、ステップまたはグレードされたレイヤーなどのより複雑なプロファイルも含まれます。これにより、ユーザーは多種多様な最終的な結果を達成することができます。8800はまた、マイクロエレクトロニクス、MEMS、およびマイクロ流体部品など、さまざまなアプリケーションに費用対効果の高いソリューションを提供します。また、シリコン、ガラス、プラスチックなどの基板を最大4インチまで加工することができます。RITE TRACK 8800は非常に汎用性の高いシステムであり、さまざまなプロセスに合わせて調整することができます。8800はまたユーザーが容易に余分な抵抗を取除き、完全な結果を達成することを可能にする自動抵抗の除去の単位を特色にします。また、他のシステムと統合して、フォトレジスト処理用の包括的なエンドツーエンドソリューションを提供することもできます。さらに、RITE TRACK 8800は、堆積層の品質を最大化するために、マシンを常に監視するインラインモニターを備えています。全体として、8800は熱硬化フォトレジスト蒸着のための効率的で費用対効果の高いソリューションです。このツールは、複数のレイヤーとプロファイルの利便性と柔軟性、およびユーザーフレンドリーな自動ストリッピング資産を提供します。インラインモニタと他のシステムとの互換性により、RITE TRACK 8800はさまざまな要求の厳しいフォトレジストプロセスに最適です。
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