中古 RHETECH STI 280 #9292510 を販売中
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ID: 9292510
ウェーハサイズ: 6"-8"
Automatic stacker system, 6"-8"
Process: DI Spin and dry N2
DI and N2 for test, 6"
Full control.
RHETECH STI 280フォトレジスト装置は、半導体デバイスの開発に使用される革新的なシステムです。このユニットは、湿式加工機とプラズマエッチングツールの2つのパーツで構成されています。ウェット処理資産は、フォトレジストを堆積、開発、除去するための様々な液体化学プロセスを利用しています。プラズマエッチングモデルは、希望する設計を基板に成形するためにフォトレジストをエッチングします。ウェット加工装置の目的は、フォトレジストを基材に堆積させることです。これは、スピンコーティング、スプレーコーティング、ディップコーティング、真空蒸着などの一連の化学プロセスによって行われます。これらのプロセスは、材料にフォトレジストの偶数層を適用するために協力します。フォトレジストを基板に適用すると、フォトレジスト上にパターンを作成するためにフォトマスクが使用されます。その後、マスクは光にさらされ、光がそれに到達することができるフォトレジストを活性化します。露出された区域はより溶解性になり、適した溶媒と取除くことができます。露出していない領域のフォトレジストは手つかずのまま、元の状態のままです。プラズマエッチングシステムを使用して、希望するデザインを作成するために基板からフォトレジストをエッチングします。これは、適切な反応性ガスを含むプラズマに基板をさらすことによって行われます。ガスは露出したフォトレジストと反応してラジカルを形成し、選択領域のフォトレジストをエッチングします。STI 280フォトレジストユニットは、半導体デバイスを製造するための重要なツールです。このマシンは、汚染や出血のリスクなしに、正確な仕様にデバイスを作成することができます。これは、最高品質の半導体部品を製造するための信頼性と手頃な価格のツールです。
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