中古 PVA Delta 8 #293623207 を販売中
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ID: 293623207
ヴィンテージ: 2018
Conformal coating machine
Hose: SSMPC / TEFLON
Flux material: Rosin-based
(4) Motion axes: X, Y, Z (Top), and Z (Bottom)
(4) Controller axes
Spare valves
Controller: 4000
X-Stroke: 621 mm
Ballscrew lead: 10mm/rev
Y-Stroke: 595 mm
Ballscrew lead: 10mm/rev
(2) Z-Strokes: 90 mm
Ballscrew lead: 1mm/rev
Heads 1 and 2:
Top and bottom valve
Z-Slide
FCS300-F Valve
Atom air range: 0-15 PSI
SMC
KALREZ O-Ring
Liner pressure vessel (2 Gal)
Air requirement: 80-100 PSI
Dry
CFM: <10
KALREZ O-Ring
Guarding:
Interlock doors
Bellows: Metal side gap panel
Light tower
Process control:
Low level
PC
OIT Portal
White light
Ventilation:
Minimum CFM: 600
PVA Blower
Exhaust switch
Flange diameter, 6"
Blower exit diameter, 6"
Upper side panel
Syringe supply:
(2) 30cc Air caps 0-60 PSI regulator with digital pressure switches
Power supply: 120, 208-230 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 15 A
2018 vintage.
PVA Delta 8は、半導体デバイスやその他のマイクロエレクトロニクス構造をイメージングするためのフォトリソグラフィープロセスで使用されるフォトレジスト機器です。このフォトレジストシステムは、デバイスとフォトレジストフィルムの間のマスキング剤として機能するポリビニルアルコール（PVA）と呼ばれる高分子材料の層で構成されています。デルタ8フォトレジストユニットは、UV光に対する感度が非常に高く、最大8ミクロンまでの特長サイズを解決することができます。それは非常に小さい特徴サイズおよび高解像度のイメージを要求する装置およびマイクロエレクトロニクスの構造のために特に有用です。PVAデルタ8フォトレジストマシンは、フォトレジスト、ベースコーティング材料、エッチング耐性材料、ポリマーフィルムの4つのコンポーネントで構成されています。フォトレジスト層は紫外線を使用してパターン化され、イメージング層として機能します。パターン化された領域を選択的に公開し、目的の機能のイメージを作成します。ベースコーティング層は、フォトレジスト層のキャリアとして機能し、イメージングプロセスの精度を確保するために必要な安定性を提供する材料です。エッチング時の特徴を保護し、多種多様な素材をカバーするように設計することができます。最後に、ポリマーフィルムは、画像処理を密閉し、構造を保護する柔軟な層です。デルタ8フォトレジストツールは、非常に高い解像度を必要とするデジタルマイクロミラー機器（DMD）やその他のデバイスに適しています。このアセットは、ディスプレイ、マイクロ流体センサ、その他のMEMSなどのデバイスに使用できます。PVAデルタ8フォトレジストモデルは、マイクロエレクトロニクスプロセスに不可欠なツールです。高感度・高解像度により、高精度で耐久性に優れた超小型デバイスや構造のイメージングが可能です。この装置は、さまざまなプロセスや材料に使用でき、最も厳しい要件を満たすことができます。
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