中古 PVA Delta 8 #293587055 を販売中
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販売された
ID: 293587055
ヴィンテージ: 2018
Conformal coating machine
Hand cycle star
Push-button
Syringe supply:
Air caps: 0-60 PSI
With digital pressure switches
(2) Motion axes:
X, Y: Top
Z: Bottom
(4) Controller axes
Head tooling: Custom
Controller: 4000
X-Stroke: 621 mm
Y-Stroke: 595 mm
Ballscrew lead:
10 mm/Rev
1 mm/Rev
(2) Z-Stroke: 90 mm
Material delivery: Dispense cart
Pressure vessel: (2) Gal
Air requirement: 80-100 PSI
Dry
CFM: <10
Head 1, Head 2, Head 3, Head 4:
Z-Slide
Stroke adjust
Atom range: 0-15 PSI
SMC
KALREZ O-Ring
FCS300-F Top valve:
Cross drilled
Atom air ports on both sides
Space syringe away
Nipple, 3"
(2) Spares
Double tooled:
Front to rear spacing adjustable, 3"-8"
Spacing top to bottom: 9"-11.5"
Guarding:
Interlock doors
Bellows: Metal side gap panel
White light tower
Process control:
(2) Flow monitors
TURCK M12 Conn
(2) Low levels
PC
OIT Portal
Ventilation:
Minimum CFM: 600
PVA Blower
Exhaust switch
Flange diameter: 6"
Blower exit diameter: 6"
Upper side panel
Material 1:
Rosin-based flux material
KALREZ O-Ring
Hose: SSMPC / TEFLON
Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 15 A
2018 vintage.
PVAデルタ8は、半導体産業で使用される高度なリソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジストシステムです。優れたパターン形成、不透明度、エッジ分解能、高品質のライン幅コントロールを可能にするネガティブトーンフォトレジストです。デルタ8は、重合ビニルモノマー、光酸発電機、およびレジスト溶媒に溶解した写真不溶性染料からなる3つの成分溶液です。光酸発電機は、紫外線光源にさらされると、カチオン重合を開始することができる強酸を生成します。この酸はレジスト層の中の特定の領域のエッチングを担当しますが、レジストの残りの領域はそのままです。不溶性の染料はライト吸収の機能を担当する部品です。これは、紫外線を吸収する能力と、その他のより長い波長範囲での光を通じて行われます。3番目の成分であるポリビニルアルコールは、分子構造内に染料分子を保持する傾向があるため、結合要素と保護コートの両方として機能します。この分子構造はまた、ポリビニルアルコールの露出した部分と露出していない部分の溶解率の比率を増加させる。これらの3つのコンポーネントをレジスト溶媒内に組み合わせることで、PVA Delta 8システムは優れた解像度、エッジプロファイル、および優れたライン幅コントロールを提供できます。また、優れた加工特性、接着性、低溶解率、アンダーカット比を発揮します。その複雑さから、デルタ8は窒化ガリウム半導体デバイスを含む先進的なデバイス製造プロセスに最適であり、フォトマスク、MEMS、指紋素子製造にもよく使用されます。また、オプトエレクトロニクスやフラットパネルディスプレイ製造の高度な分野でも使用されています。
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