中古 PVA Delta 6 #293804921 を販売中
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ID: 293804921
ヴィンテージ: 2009
Conformal coating machine
Work area: 521 mm x 485 mm x 100 mm
Brushless DC Servo motor
X, Y and Z Repeatability: ±25 microns
Resolution: 5 microns
Maximum acceleration: 0.6 g
Maximum speed: 670 mm/sec
Footprint: 847 mm x 1136.9 mm x 1606 mm
Air supply: 80 PSI
Board handling:
Conveyor type: Flat belt / chain
Minimum conveyor width: 50 mm
Maximum conveyor width: 500 mm
Board clearance topside: 80 mm
Board clearance underside: 80 mm
Edge clearance: 4.7 mm
Conveyor speed: Up to 24.4 m/min
SMEMA Interface
PC
Flat screen monitor
USB
Operating system: Windows
Power supply: 120-220 V, 50/60 Hz
2009 vintage.
PVAデルタ6は、複雑な電子部品やマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される高度なフォトレジスト機器です。優れた解像度と微細ピンホールフリーのライン解像度を0。3 µmまで提供するUV活性フォトレジストシステムで、優れた解像度パターンと配線の生産を可能にします。デルタ6は、接着性、解像度、感度、コントラスト、ドライエッチング抵抗、およびイメージセッタの互換性の点で優れた性能を提供します。また、従来の正負フォトレジストシステムよりも解像度が高く、先進的な部品の設計と製造に好ましい選択肢となっています。PVAデルタ6には、フォトレジストの開発プロセスの速度を向上させるように設計された1つのコンポーネントの写真開始ユニットが含まれています。紫外線に敏感で、様々な紫外線光源を使用して活性化することができます。広範な活性化エネルギー(300〜500 mJ/cm2)により、露出パラメータを微調整し、小さな形状や高解像度パターンに焦点を当てることができます。デルタ6は、優れたコントラスト、優れた感度、優れたドライエッチング抵抗を表示します。アルミニウムや銅などの金属基板に塗布でき、接着性能が向上します。分解能の向上にはコントラスト比が大きく、感度は4〜15 mJ/cm2で、0.3µm回路パターンの実現にも優れています。さらに、ドライエッチング抵抗により、ライン幅が0。2 µmの部品を製造することができます。最後に、PVA Delta 6はSEM Resource SX8000を含む多くのイメージングシステムと互換性があります。この互換性により、ユーザーはDelta 6とそのイメージングおよび製造装置を簡単に組み合わせることができます。その優れた性能特性により、PVAデルタ6マシンは、高解像度マイクロエレクトロニクスデバイスの設計と製造に最適です。
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