中古 PVA 6000 #9222892 を販売中
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ID: 9222892
ヴィンテージ: 2013
Conformal coating system, parts system
With spare parts
2013 vintage.
PVA 6000はキヤノンが開発したフォトレジスト機器で、極めて微細な解像度で機能を作り出すために使用されています。半導体ウェーハ用に設計されており、キヤノンが超精密なレジスト製品で開発した最先端のフォトレジストです。6000の主な特徴は、高NA HDRイメージング、コンパクト露光ユニット、キヤノン独自のARTechnicaGシステムです。High-NA HDR (High Numerical Aperture High Depth Resolution)イメージング技術により、スピンコーティング、イメージング、エッチングにおいて優れた一貫性を有する極めて微細な機能を実現します。コンパクトな露出ユニットにより、クリーンルーム環境での優れた性能と露出時間の短縮を実現します。ARTechnicaGユニットは、シンプルなインターフェースによって制御された簡単に設計された露出形状により、多様な複雑なパターンを生成します。キヤノン露光装置とフォトレジストツールのネイティブ解像度と40ナノメートルサブパターニング機能を組み合わせています。PVA 6000は、フォトマスクを作成するときの柔軟性の大きな程度を可能にします。サブ分解能レベルで露光領域を制御する機能により、高精度の大規模パターンと極めて高解像度の高密度パターンの両方を作成することができます。アセットはまた、ユーザーにさまざまな条件や材料に合わせた幅広い露出設定を提供します。6000はまた、完全に自動化された拒否識別機能でさらに一歩進んでいます。この機能は欠陥パターンを検出し、自動的にそれらを拒否し、エラーを減らし、製造歩留まりを改善することができます。全体的に、PVA 6000は注目すべきフォトレジストモデルです。特徴の印象的なリストは、キヤノンの長年の品質に対する評判と組み合わせて、半導体ウェーハ機能の生産に最適です。
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