中古 PRAXAIR CoArc 9910 #293591595 を販売中

PRAXAIR CoArc 9910フォトレジスト装置は、幅広い業界のマイクロエレクトロニクス機器の製造に使用される最先端のツールです。フォトリソグラフィを活用した本格的な自動化システムで、基板表面にパターンを転送するプロセスです。フォトリソグラフィーは、チップ、集積回路、その他の電子デバイスの小型化であるマイクロマシニングの礎石です。CoArc 9910は、高分解能の光投影ユニットを使用して、フォトレジストと呼ばれる感光材料の均一な層を基板上に露出させます。PRAXAIR CoArc 9910は、914 mm x 914 mmまでの基板サイズで、市場に出回っている他のシステムよりも大きなサイズの生産の扉を開きます。このフォトレジスト機には、200mmから880mmまでの長さの最大20基の基板カセット用のオートローダも付属しており、継続的な生産に必要な時間を短縮します。CoArc 9910は、365nmから113nmまでのリソグラフィ波長で動作するため、さまざまな業界のアプリケーションに対応できます。5チャネルのスピンコーターにより、複数の基板上で同時に個別のプロセスを行うことができ、独立したポンプとプライム機能を備えています。PRAXAIR CoArc 9910には、最大26〜8インチまたは25〜12インチの様々なサイズの基板に対応できるオプションのウェーハソーターが搭載されています。全体として、CoArc 9910フォトレジストツールの機能は、ユーザーに業界仲間を超える機能を提供します。Topnotchの精密光プロジェクション機能により、基板上の高解像度パターンを必要とする業界に最適です。医療機器業界から半導体業界、さらに多くの分野において、PRAXAIR CoArc 9910は幅広い用途に対応できるように構築されており、マイクロマシニングプロジェクトの企業を支援する準備ができています。