中古 POLYTEKNIK Cryofox Explorer 600 #9189760 を販売中
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ID: 9189760
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2007
Thin film coating system, 8"
(4) Pockets
Wafer load, 6"
E-beam source
No magnetrons
No water cooled substrate
Turbo pump
Roughening pump
Technical specifications:
Vacuum system, standard: TMP1: 240 l/s, TMP2: 400 l/s, RP: 35 m³/h dry pump
Base pressure: 1E^-7 mbar range
Electric supply: 3 x 400 V, 7 kVA peak
Cooling water supply: 18°C-25°C, max 6 kW cooling capacity peak
Cooling water flow: 18 L/min, 5 bar max pressure difference
2007 vintage.
POLYTEKNIK Cryofox Explorer 600は、高品質のイメージングと精密エッチングを可能にするように設計されたフォトレジスト機器です。独自のコールドエッチング技術によりフォトレジストの熱伝導率を低減し、エッチング工程での高精度を実現します。さらに、Explorer 600は、温度制御されたベーキングステーションを提供し、最大130°Cに達することができます。Explorer 600には、簡潔で人間工学に基づいて設計されたタッチスクリーンインターフェイスとコード対応プロファイルのカスタマイズが装備されており、ユーザーはユニットのさまざまなパラメータに簡単にアクセスできます。このフォトレジストマシンは1。8kWの高出力CO2レーザーを備えており、同等のレジストシステムよりも高品質の画像解像度を提供します。レーザーは~ 5 µmの非常に精密なライン幅の6"までの基質をパターン化することができます、包装およびプロトタイピングのような適用のために有利。レーザーにまた調節可能な強度変数があります-大量生産のための速いターンアラウンドタイムを促進します。Explorer 600フォトレジストツールには、5種類の処理レシピとさまざまな基板キャリアがあります。多目的な圧力シーリングによって、機械はサイズの6"までの共通装置の基質材料を扱うことができます。処理チャンバーの安全制御が強化され、オペレータは高度に制御された環境でウェーハ実装やアライメントなどの処理タスクを安全に実行できます。Explorer 600は、バランスの取れたプロセスパラメータ、高解像度のイメージング解像度、さまざまな基板をパターン化する機能を必要とするユーザーに最適です。自動化と信頼性を念頭に置いて設計されたフォトレジストアセットは、繰り返し可能な結果と包括的なパフォーマンスデータを保証します。耐久性のある構造と低いメンテナンス要件により、Explorer 600は最高の効率と高品質の結果を達成することを望むユーザーにとって貴重なツールとなります。
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