中古 PHILIPS / FEI Magellan 400L #293597808 を販売中

PHILIPS/FEI Magellan 400Lは、マイクロエレクトロニクスデバイスの高解像度パターニング用に特別に設計されたフォトレジスト機器です。様々な基板に高精度なパターンを作り出すことができる高度でユーザーフレンドリーなシステムです。ウエハやマスクなどの表面に電子ビーム抵抗を正確にパターン化できる4K超高解像度カメラを採用しています。電子ビームは個々のピクセル点を撮影し、それらを定義されたサイズと形状に統合します。正確なステージベースの投影が露出を調整し、望ましいカバレッジ領域が正確に達成されるようにします。FEI Magellan 400Lマシンは、最適なビーム電流、露光時間、解像度の設定を決定し、可能な限り最高のパターン解像度を得ることができる自動キャリブレーションツールなど、一連の高度なハードウェアおよびソフトウェア機能と統合されています。また、パターニング、UVリソグラフィ、電子ビームリソグラフィ用の高度なソフトウェア資産を備えています。このモデルのコントロールパネルは、ビーム速度、焦点距離、加速度と減速、焦点位置、前後傾き、ベクトル直線性など、さまざまなパラメータに簡単にアクセスできます。高解像度のため、リフトオフやPRコートなどのリバースプロセスにも適しています。この機器には、調整可能な安全ビームと緊急停止機能を含む多数の安全機能も含まれています。堅牢で信頼性の高い構造により、ユーザーは固定して安定したプラットフォームを維持することができます。振動安定性、解像度、低粒子汚染、シャドウフリーパターニングは、信頼性と精度の高いレジストユニットを求める人にとって魅力的な選択肢です。