中古 PARKER MSX-102C #9247058 を販売中

PARKER MSX-102Cは、高解像度イメージングと高精度で再現性のあるプロセスを組み合わせた第3世代フォトレジスト機器です。このシステムは、光学ユニット、熱制御ユニット、およびコンピュータ制御の3つの主要コンポーネントを備えた、コンピュータ制御、ガス駆動、自動露出ユニットを使用しています。光学ユニットは、エキシマレーザー光源、ビームシェーピングオプティクス、および広帯域分光画像プロセスとバイナリイメージングプロセスを含むデュアルイメージングマシンで構成されています。光学ユニットは、高解像度パターンの正確かつ再現可能なイメージングを可能にする光学および熱制御の両方の機能をサポートしています。光源は、異なる膜厚の露出のためのフォトレジストプロセスに適合する広い波長範囲を提供します。さらに、パターン全体に均一な照射を提供する自動センタリング機能により、露光プロセスがさらに強化され、単一の露光で高解像度パターンを一貫したイメージングが可能になります。熱制御ユニットは光学ユニットに統合され、パターニングプロセス中に温度制御が維持されるようにします。熱制御ユニットは、レジストフィルムを保護するためにユニット内の正確な温度を維持し、プロセスの安定性を高め、正確なパターンを作成します。コントローラには、レジストパターニングプロセス中に温度安定性を確保するために、ローカライズされた窒素冷却ガス室も組み込まれています。このツールのコンピュータ制御は、イメージングプロセスのすべてのステップを管理および制御するために使用されます。このコンピュータは、データ入力、露出サイクル、数値監視、アライメント制御など、フォトレジストプロセス全体をプログラミングおよび制御するためのユーザーフレンドリーなオプションを提供します。また、パターン精度とプロセスの堅牢性に関するリアルタイムのフィードバックを提供し、高度なフォトレジストパターニングプロセスの開発と制御のための完全かつ自動化された資産を提供します。MSX-102Cフォトレジストモデルは、歩留まりの向上、スループットの最大化、プロセスの信頼性の向上を目指すメーカーにとって理想的なソリューションです。この装置の高解像度イメージング機能は、高度な微細加工プロセスに最適であり、プログラマブルな機能を幅広く備えており、完全なプロセス制御を保証します。これらはすべて、PARKER MSX-102Cフォトレジストシステムを、プロセスの精度と再現性を最大限に高めるための貴重なツールにします。