中古 ORION 90T #9176341 を販売中

ORION 90Tは、薄膜マイクロエレクトロニクスデバイス製造用に開発された汎用性と信頼性の高いフォトレジスト機器です。このシステムは、ハイスループットフォトリソグラフィープロセス用に特別に設計されています。90Tにより、加工時間を最大50％短縮し、カットスルーレートとプロセスの再現性を確保します。このユニットは、改善されたハードウェア、高度なソフトウェア、および高度なオートメーション技術を組み合わせて、効率を向上させます。ORION 90T機は、操作コンソール、光源、光学アライナー、インデクサーの4つの主要コンポーネントで構成されています。操作コンソールには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）があり、ツールのセットアップと制御を簡素化します。光源は、フォトレジスト層を露出するための正確な紫外線照射を提供するレーザーダイオードです。光学アライナーには、基板にパターンを正確に登録するためのテンプレートとして機能するフルセットのフォトマスクが装備されています。インデクサは、光源と光学アライナーの間に基板を正確に配置するマイクロモーションインデクサです。90T資産は、処理時間を短縮し、スループットを向上させるように設計された高度な制御および通信ソフトウェアを備えた完全自動フォトリソグラフィーモデルです。プロセスの再現性と精度を維持するために、光学アライナーからのフィードバックを使用して、パターン化された各層の正確な露光時間を計算することができます。さらに、そのソフトウェアは、エンドポイント検出や再現性解析などのさまざまなプロセス制御タスクを実行するために使用することができます。ORION 90T装置は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造のための強力で汎用性の高いソリューションです。カットスルーレート、再現性、高スループットを保証し、セットアップ時間を最小限に抑えます。また、信頼性の高い操作により、エラーや最大精度を最小限に抑えます。機能と高度な制御の包括的なセットは、シンプルで安全で再現性の高いデバイス処理を可能にします。