中古 OPTORUN OTFG-1300 #9381885 を販売中

OPTORUN OTFG-1300
製造業者
OPTORUN
モデル
OTFG-1300
ID: 9381885
Optical thin film coater QMS OMS Single gun.
OPTORUN OTFG-1300は、高度なリソグラフィープロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。標準の4インチおよび8インチのステッパー層から高度な13インチ製品まで、幅広いフォトレジストを取り扱うことができます。このシステムは、露出を正確に制御し、時間を開発しながら、高速で基板を処理するように設計されています。OTFG-1300は、フォトレジスト層が処理中に過熱されるのを防ぐのに役立つ冷却ユニットを装備しています。フォトレジスト層の正確な露出を確保するために、高効率のDirect Write Optical Machine (DWOS)を使用しています。また、Dual Stage Expose (DSE)機能を搭載しているため、基板の両側の露出時間を独立して制御することができ、精密なプロセス制御が可能です。このアセットは、フォトマスクや基板からさまざまなマーキングや英数字を検出して読み取ることができる独自の画像認識モデルを使用しています。この機能は、処理サイクル全体にわたって正確な結果を保証します。OPTORUN OTFG-1300は使いやすく、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスメニューを備えています。このインターフェースにより、セットアップ要件を最小限に抑えながら、個々のプロセスステップを簡単にプログラミングできます。オプションのソフトウェアパッケージを使用して、ALTAIRソフトウェアパッケージと呼ばれる機器を遠隔操作できます。このソフトウェアは、単一の接続された場所で複数のシステムを管理することができます。また、光学部品の表面をきれいに保つのに役立つ自己調整洗浄ユニットを内蔵して設計されているため、最低限のメンテナンスが必要です。この機械は光学系の手動拭き取りの必要性を避け、メンテナンスによるダウンタイムの削減に役立ちます。最後に、OTFG-1300は既存のフォトリソグラフィープロセスに簡単に統合できるように設計されています。これは、さまざまな標準的で専門的なフォトレジストを受け入れるように構築されており、洗練された処理オプションを提供する必要がある施設に理想的なオプションです。OPTORUN OTFG-1300は、わずか130 Kgの重量で、市場で最も軽量なシステムの1つでもあります。全体として、OTFG-1300は効率的で信頼性が高く、使いやすいフォトレジストツールで、高度なリソグラフィープロセスに最適です。
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