中古 OPTORUN OTFG-1000C #9359460 を販売中

OPTORUN OTFG-1000C
製造業者
OPTORUN
モデル
OTFG-1000C
ID: 9359460
Optical thin film coater.
OPTORUN OTFG-1000Cは、さまざまなプロセスやアプリケーションで使用するために設計された高精度フォトレジスト機器です。高度な設計と機能により、高い精度と再現性を備えたフォトリソグラフィ用の信頼性と費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。OTFG-1000Cは、最大1,000mm×1,000mmのフレームに対応できる広い視野を備えています。フレームは線形座標軸プラットフォームに取り付けられており、フレームの向きと部品配置の両方に正確な位置合わせを提供します。さらに、このユニットは、正確なレベルマッピングのための統合ビジョンガイダンスと、被験者間の迅速な切り替えのためのゼロツールチェンジオプションを備えています。OPTORUN OTFG-1000Cの高度な光学システムは、幅広いフィルム、レジスト、開発者オプション、およびマスキング材料で最適なフォトマスク性能を保証します。ユニットの光放射源には強力な電動真空機が装備されており、照明経路の粒子状汚染を防ぎ、最適な画質を保証します。このツールには、異なるレジストタイプの複数のイメージングモードも含まれています。また、ユーザーOTFG-1000C希望の結果に応じて、さまざまなホットベークとコールドベークの設定から選択することができます。熱いベーキングは抵抗の付着強さを高め、作り出されたイメージの保存性を改善するのに使用されています冷たいベーキングは適用範囲が広い基質か半剛性の基質のための柔らかいベーキングの適用にとって理想的です。内蔵モーションコントロールにより、± 2 μ mの順序での位置決め精度、1 μ mの固定ゼロアライメント精度、および10分の1未満のミクロンの精密放射被曝を保証します。このデバイスは、フィルムまたは基板の厚さの変化を自動的に補償し、一貫したフォトレジストレンダリングのための正確な照明と時間制御を提供します。全体として、OPTORUN OTFG-1000Cは、さまざまなアプリケーションに精度と使いやすさを提供する高度なフォトレジストプロセスデバイスです。微細な材料厚に対する高い耐性と、統合されたイメージングおよびモーションコントロール技術により、さまざまな業界のリソグラフィープロセスに最適です。
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