中古 OPTORUN OTFC-1800DBI #9237129 を販売中

製造業者
OPTORUN
モデル
OTFC-1800DBI
ID: 9237129
Vacuum coating system With IAD Chamber size: 1,800 W x 1,910 H Vacuum pump: OPTORUN: (2) 28" DP POLYCOLD PFC-1102 HC Chiller RP: EDWARDS E2M275 MBP: EDWARDS EH4200 Evaporation: EB: (2) JEOL JEBG-102UH0 Hearth (Left): φ336xφ264xH15 Hearth (Right): φ40xH17, 30 Points Shatter: About φ300x2 JEOL BS-72050ICE Power supply Ion source assist: RF Ion source: OPTORUN OIS-Three 23 cm Type RF Neutralizer Power supply Shatter: About φ450 size Controller: OPTORUN HOM2-R-VIS350A Optical monitor Wavelength: 350 nm~1100 nm (Reflectance) Monitor glass: φ142 Size Monitor points: 80 Points Crystal monitor: INFICON XTC/3 6-Points rotary censer OPTORUN Auto-deposition control system 2015-2017 vintage.
OPTORUN OTFC-1800DBIは、高精度で信頼性の高いリソグラフィ製造用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムには、エンドユーザーの優れたパフォーマンスを確保するための最新の機能と技術が搭載されています。ユニークで自動化された合理化されたリトグラフィープロセスを使用して、高精度で費用対効果の高いフォトレジスト性能を保証します。ユニットは、高精度ディスペンシングユニットと特殊フォトレジスト積層チャンバで構成されており、これらを組み合わせて非常に正確な堆積と化学エッチング処理を提供します。ディスペンシングユニットは、一貫した高品質の感光機能に必要な、正確な± 20ミクロンの許容誤差でフォトレジスト材料を分配することができます。フォトレジスト層チャンバーは、基板全体に均一で正確な層の厚さを提供し、一貫したパターンを確保します。OTFC-1800DBIには、光出力がリソグラフィープロセス中に正確に監視されるように設計された高度な光学機器を含む、多くの統合された技術的機能があります。このツールには、専用のコンピュータ化されたプロファイルマッチングアセットも含まれており、ユーザーはフォトレジストレイヤーを素早く設定、調整、監視することができます。自動デリバリーモデルには、拡張されたカスタマイズ機能も装備されており、ユーザーはさまざまな基板および層厚さ要件に機器を簡単に適合させることができます。最後に、OPTORUN OTFC-1800DBIには高度な出力制御システムが装備されており、ユーザーはリソグラフィープロセスの特定の部分の出力レベルをすばやく調整し、全体的なパフォーマンスを監視することができます。このユニットにはマルチアレイヒーターとプログラムされた温度制御ツールも含まれており、エンドユーザーはフォトレジスト機能を正確に制御できます。全体として、OTFC-1800DBIは、最新の技術進歩を最大限に活用した、高精度で自動化された信頼性の高いフォトレジスト資産をユーザーに提供します。幅広い機能と機能を備えたこのモデルは、ユーザーに優れた性能を提供します。
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