中古 OPTORUN OTFC-1800 #9263756 を販売中

OPTORUN OTFC-1800は、幅広い用途において優れた性能と柔軟性を提供する次世代フォトレジスト加工装置です。フォトリソグラフィを用いて基板上のパターンを簡単に作成できるオールインワンシステムです。このユニットは、高度な基板処理技術、信頼性の高い露光源、および高精度レジスト処理モジュールを備えています。基板処理技術OTFC-1800、標準的なガラスプレートまたはFOUPエンクロージャを使用して、最大36インチの長さの基板の処理を可能にします。露光ステージ上の基板配置を精密に制御することができ、高精度、安定性、再現性のあるステージモーションを特長としています。これにより、露出断面整列アーティファクトを最小限に抑えて正確な形状を実現できます。OPTORUN OTFC-1800は、高信頼性で信頼性の高い深紫外線（DUV）露出源を備えており、正確で反復可能なパターン露出を提供します。ソースは、フルフィールドまたはステップアンドリピートの露出をカバーするように構成でき、特定の基板に合わせてさまざまなパワーレベルを設定して要件に耐えることができます。これは、フォトリソグラフィ用途の広い範囲のために、大きな回折格子と露光レベルの広いダイナミックレンジを備えています。また、コンパクトOTFC-1800高精度、メンテナンス性の低いレジスト加工モジュールを備えています。このモジュールは、VAレジストメソドロジーを使用して高品質のレジストプロセス結果を保証し、直径4インチまでの基板を処理できます。エッチング工程で安定したレジスト進化を保証する温度維持機能を備え、単層構造または多層構造のプロセス収率を最大化するように構成することができます。全体的に、OPTORUN OTFC-1800は汎用性と信頼性の高いフォトレジスト加工機で、幅広いアプリケーションに優れた性能と柔軟性を提供します。高度な基板処理技術、信頼性の高い露光源、および高精度パターン生成を確保するための低メンテナンスレジスト処理モジュールを備えています。これにより、複雑な形状と高スループットを必要とするフォトリソグラフィーアプリケーションに最適です。