中古 OPTORUN OTFC-1550 #9390009 を販売中

OPTORUN OTFC-1550は、基板コーティングと開発チャンバー、粘度ポンプ、フォトレジストディスペンサーからなる完全自動フォトレジストフィルム加工装置です。OPTORUN OTFC 1550は200 mm x 200 mmから500 mm x 500 mmまでのサイズのフォトマスク軸受け基板を処理する信頼性の高い反復可能な方法を提供します。このシステムは、基板コーティングと開発、プレベーク、ディスペンス、ポストベーク、そして最後に、フォトレジスト除去チャンバーを含む、各プロセスステップ用の専用チャンバーを備えたチャンバーのセットで構成されています。OTFC-1550は、フォトレジストを基板に均一な膜厚で塗布する自動基板コーティングチャンバーから始まります。このチャンバーはまた、ベーキングプロセスを実行する能力を持っています、均一なベースフィルムの接着を確保します。フォトマスクパターンが望ましい厚さの基質に正確に分配されることを保障するのに分配機能が使用されています。これは、ユニット内に統合された高度なフォトレジストディスペンサーによって実現されます。露出や開発などの焼成後のプロセスは、統合開発室で行われます。この部屋は均一な、全面的な抵抗のフィルムのプロフィールを保障するのを助けます。最後に、フォトレジスト除去（PRR）チャンバーを使用して、基板から不要なフォトレジストを除去します。これは、均一なPRR結果を保証するように設計された高度な真空アシスト技術によって可能になります。全体的に、OTFC 1550フォトレジストマシンは、信頼性の高い反復可能な基板処理ソリューションを提供します。200mm×200mmから500mm×500mmまでのフォトマスク基板の加工が可能です。さらに、統合されたプレベーク、ディスペンス、ポストベーク、およびPRRプロセスにより、正確で均一なフォトレジストフィルム処理結果が得られます。