中古 OPTORUN OTFC-1550 #293816717 を販売中

OPTORUN OTFC-1550は、フォトレジストの処理のために設計された精密開発者です。OPTORUN OTFC 1550は、高度な光学ハードウェアと自動化されたワークフローを備え、高いスループット処理を提供し、レイヤーとマイクロアライメントの登録精度に優れたレイヤーを実現します。OTFC-1550は、レーザーダイオードと高速イメージングガルバノメーター技術を備えた精密光学ヘッドを備えています。これにより、ウェーハとチップの迅速なスキャンが可能になり、望ましいレベルのマイクロアライメント登録を正確に開発できます。また、エレクトロフォトレジストポリマーの音域を制御する機能も備えています。OTFC 1550はまた、従来のフォトレジスト処理に比べてスループットを向上させ、欠陥を減少させるように設計された精密光学およびエアフロー管理システムを備えています。専用のノズルと真空システムは、均一なコーティング厚さを確保し、ウェーハとチップに一貫したレジストプロファイルを生成します。精密光学機器には、自動アライメントマークチェックも含まれており、コーティングカバレッジとレジストプロファイルを検証することにより、プロセス制御の余分な層を提供するのに役立ちます。OPTORUN OTFC-1550はまた、欠陥率を低減し、サイクル時間を短縮するように設計された自動ウェハハンドリングシステムを提供しています。この自動化されたユニットは、ビジョンマシンを使用してウェーハをチャンバーに正確に配置し、基板のスピンドル高さを正確に登録することができます。ビジョンツールはまた、表面汚染を検出することができ、コーティングがレジストアプリケーション全体で均一であることを保証するのに役立ちます。OPTORUN OTFC 1550には、カスタマイズ可能なリアルタイムプロセス情報、フルエラーロギング機能、インテリジェントな診断資産を表示する直感的なオペレータインターフェイスも含まれています。これは、高い収率と優れたエッチング品質を保証しながら、フォトレジストの迅速かつ効率的な開発を保証する強力なツールを作成するのに役立ちます。