中古 OPTORUN OTFC-1550 #293642596 を販売中
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ID: 293642596
Optical thin film coater
SUS304 Vacuum chamber: Φ1550 mm x 1800 mm
Substrate dome size: Φ1400 mm
Substrate dome speed: 10 RPM - 30 RPM
Optical film thickness control system:
HOM2-R-VIS350A
Wavelength range: 350 nm-1100 nm
XTC/3+6 Point type crystal sensor
(2) EB Sources
RF Ion source: 17 cm
Vacuum system:
Roughing pump
(2) Diffusion pumps
(2) Cryo pumps
Cryo trap.
OPTORUN OTFC-1550は写真、電子工学、生物医学および製造業で使用するために設計されているフォトレジストのunderspray装置です。このシステムは、高い精度でフォトレジストやその他の敏感な材料に均一で信頼性の高いアンダースプレーのカバレッジを提供することができます。OPTORUN OTFC 1550は、優れたビーム特性と優れた性能のために高輝度レーザーを使用しています。レーザーは保護ハウジングに囲まれ、供給される力が最低に保たれることを保障する調節可能なビーム点サイズがあり、それにより過剰露出の危険を減らし、処理される材料を傷つけます。このユニットには高解像度のイメージングマシンも内蔵しており、プロセス全体の正確なイメージングが可能です。OTFC-1550には、プロセス全体を制御する高度なソフトウェアも組み込まれています。このソフトウェアを使用すると、目的のフォトレジスト材料、アプリケーションレート、およびレーザー波長、パルス周波数、電力、持続時間などのその他のパラメータを選択できます。ソフトウェアはまた、ユーザーがフォトレジスト材料への損傷のリスクを減らすためにフィルターを設定することができます。OPTORUNが提供する運用ガイドラインは非常に明確でわかりやすいです。この包括的な取扱説明書は、重要な安全手順を詳細に説明し、ユーザーが自分のツールのパフォーマンスを最大化することを可能にする機能と機能の包括的なリストを提供します。優れた画質に加えて、OTFC 1550は信頼性の向上、柔軟性の向上、運用コストの削減を実現します。この資産は、幅広い業界のユーザーに優れた品質、パフォーマンス、および費用対効果を提供するように設計されています。フォトレジスト材料に優れた品質と解像度を提供できるため、さまざまな用途に最適です。
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