中古 OPTORUN OTFC-1300DBI #9398672 を販売中
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ID: 9398672
ヴィンテージ: 2008
Optical thin film coater
SUS304 Vacuum chamber: D 1300 mm x H 1610 mm
Substrate dome size: D1130 mm
Pump:
Mechanical pump: 4000L /min
Mechanical booster pump
(2) Diffusion pumps, 22"
Optical film thickness control system:
OPTORUN HOM2-R-VIS350A
Wavelength range: 350 nm - 1100 nm
Shutters:
(2) EB Sources
ION Source
Cold trap: POLYCOLD PFC670HC Meissner trap coil
INFICON VGC023 Vacuum gage
EB Source:
Left: Loop hearth
Right: 24 Points hearth
JEOL 270 Degrees deflection system
(2) JEBG EBG-203LFO
JST-10F Power supply
Substrate fixture: 10-50 RPM Variable speed dome
INFICON XTC-2 Crystal film thickness monitor
6-Points rotary crystal sensor
INFICON VCC500 Process gasses controller
INFICON VDM005-X Controlled valve
PLC Control
PC Included
2008 vintage.
OPTO-RUN OPTORUN OTFC-1300DBIフォトレジスト装置は、エッチング、スパッタリング、層成膜などの用途向けに設計された汎用性の高い光化学システムです。スループットを犠牲にすることなく、最大4枚のマスクを正確かつ同時に露出できます。フレキシブルな光エンジンと多数のプロセスオプションを備えたこのフォトレジストユニットは、均一性と再現性を備えた正確なフォトレジスト露出を提供します。OPTO-RUN OTFC-1300DBIフォトレジストマシンは、露出チャンバー、ライトエンジン、コントローラで構成されています。露出チャンバーは、最大4枚のマスクを同時に収納できるマルチカビティツールを採用しています。ライトエンジンはマスクの周りに配置された蛍光灯のリングから構成され、需要に応じて高輝度の紫外線を届けます。この設計された光源は調節可能、線量、露出時間および露出力が各マスクのために独立して調節することを可能にします。露出チャンバーと光エンジンに加えて、OPTO-RUN OPTORUN OTFC-1300DBIフォトレジスト資産には、精密なデジタルディスプレイコントローラも組み込まれています。これにより、モデルの露出設定をカスタマイズでき、露出パラメータを正確に制御できます。さらに、コントローラは強力な光電子インターフェースを備えており、ユーザーは外部コンピュータから機器全体を制御することができます。OPTO-RUN OTFC-1300DBIフォトレジストシステムは、集積回路（IC）、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など、さまざまな種類のマイクロエレクトロニクス製造に最適です。その正確な露光機能により、異機種混在フリップチップパッケージやMEMSデバイスの製造など、高度な半導体アプリケーションに特に適しています。ユニットの柔軟性と使いやすいインターフェイスは、品質管理と一般的なクリーンルーム操作のための魅力的な選択肢となります。要するに、OPTO-RUN OPTORUN OTFC-1300DBIフォトレジストマシンは、マイクロエレクトロニクス製造における正確なフォトレジスト露出のための非常に効率的なソリューションを提供します。あらゆる生産環境に簡単に適応できる汎用性の高いソリューションであり、精密なデジタル制御により、品質管理と特殊アプリケーションの両方にとって貴重なツールとなります。
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