中古 OPTORUN OTFC-1300DBI #9358481 を販売中

OPTORUN OTFC-1300DBIは、様々な電子部品の製造における基板の精密パターニングのためにOPTORUNによって開発された最先端のフォトレジスト機器です。これは、従来および高度なリソグラフィープロセスを利用したデバイスの生産に適しています。このシステムは専用の光学ヘッドを備えており、30 x 40cmから50 x 100cmまでの露出領域サイズをサポートしています。エキシマレーザーは細かく調整された露出を可能にし、単発アダプティブフォーカスユニット、6つのリソグラフィーモード、可変用量、および高周波スキャンなどのさまざまな機能を可能にします。この特徴の組合せは費用効果が大きい方法で複雑な構造の精密パターン化を可能にします。OTFC-1300DBIは、光学アライメントマシンと非常に高い解像度に達することができる高度なリニアステッパーステージのセットを備えています。その光学系は、回折の影響を最小限に抑えるために連続位相シフト法を使用して最適化されています。ガラス、石英、半導体材料など様々な基板にも対応しています。このツールは、高解像度可視（HRV）イメージングなどの最新のリソグラフィ技術を利用しています。これは、小型機能の製造に強化されたイメージング機能を提供する高度な機能です。このアセットにはPattern-On-Pattern （POP）アライメントモデルもあり、複数のパターンを正確にアライメントできます。POP装置は、高解像度の要件を管理することができ、高精度のマイクロエレクトロニクス構造の生産に適しています。OPTORUN OTFC-1300DBIは、さまざまなレイヤーおよびエッチング処理に対応しており、ウェハサイズのシートや小型部品の製造が可能です。その様々な機能が組み合わさり、高精度、再現性、スループットのフォトリソグラフィーシステムをユーザーに提供します。センサ、集積回路、液晶、OLED、 MEMSなど、さまざまな電子機器の製造に適しています。