中古 OPTORUN OTFC-1300DBI #293797489 を販売中

OPTORUN OTFC-1300DBIは、半導体デバイス製造におけるレジストコーティング用に設計されたフォトレジスト装置です。これは、さまざまなフォトレジストプロセスに優れた性能と信頼性を提供します。4つの機能を統合した特別なデザインOTFC-1300DBI、幅広いアプリケーションのニーズに対応できます。OPTORUN OTFC-1300DBIは、1分間に最大10個のウェーハを迅速に沈殿させることができるスピンコーティングシステムです。このユニットは、異なるサイズと材料のウェーハを処理できる調整可能なプロセスチャンバーを備えています。OTFC-1300DBIはまたコーティングプロセスの精密な制御のための高度のプロセス監視機械が装備されています。このツールは、粒子の汚染レベルを低減することができる排他的な顔の洗浄方法を持っています。OPTORUN OTFC-1300DBIのSPEアセットは、フォトレジスト層の厚さをコーティングおよび微調整することさえ保証します。OTFC-1300DBIはディスペンスヘッドを使用して、コーティング前に正確にフォトレジストをウェーハに塗布して広げます。ディスペンスヘッドは、フォトレジストの反射効果を低減するために、反射防止コーティング（ARC）を適用するためにも使用できます。OPTORUN OTFC-1300DBIには、効率的なローディングと操作のための自動ウェーハ転送モデルも付属しています。ウエハーが使用されていないときにドアを閉めることによって最もよいコーティングの質を保障する特別なシャッター機能がまたあります。OTFC-1300DBIは高温プロセスの最もよいフォトレジストの特性を保障するのに利点の冷却装置を使用します。高度な放熱技術は、フォトレジスト材料の熱応力を低減するのに役立ちます。OPTORUN OTFC-1300DBIの高度なコーティング均一性ユニットにより、プロセスの最適な清潔性と再現性を実現します。この機械はまた肯定的または否定的なフォトレジストのような異なったフォトレジスト材料を扱うことができます。要約すると、OPTRON OTFC-1300DBIは、最新の半導体デバイス製造において優れた性能と効率を得るために設計された先進的なフォトレジストツールです。パワフルな機能と機能により、幅広い用途に対応し、優れた成果を発揮します。