中古 OPTORUN OTFC-1300CGI #9408415 を販売中

OPTORUN OTFC-1300CGIは、高解像度で信頼性の高いフォトレジストコーティングプロセスを費用対効果の高い方法で提供するように設計されたフォトレジスト機器です。さまざまなコーティングモードを備えているため、高い均一性と精度で素早く簡単に基板をコーティングできます。また、幅広いフォトレジスト素材に対応しているため、用途に応じたフォトレジストを見つけることができます。ユニットは、レーザースキャンヘッドとレンズとミラーの配列で構成されており、両方とも調整可能なガルボスキャン機によって管理されています。これにより、コスト、スペース、消費電力を大幅に削減しながらも、同じ精度と精度を提供します。このツールはまた、広い領域にわたって非常に均一で連続的なコーティングを可能にし、最大5m/sの速度で実行することができます。このアセットは、ウエハ表面にダイレクトレジストパターニングを施した3層レジストコーティング工程を採用しています。3段階のレジストプロセスを使用することで、複雑なパターニングの均一性、精度、再現性を保証します。このモデルは、ガルバノメーター、レーザー、照明器、および画像装置で構成されています。ガルバノメーターは、希望するパターンを生成するために、ウエハ表面上の特定のパターンで照明器とレーザーを移動します。水冷レーザーは、高出力ダイオードポンプ固体レーザーです。最適なパターニングを実現するために、レーザーのパワーとパルス持続時間を自動調整する自動電源制御システムが含まれています。本体には高品質のマイクロレンズアレイが搭載されており、基板面の内外の歪みを低減します。このマイクロレンズアレイは、広い領域にわたって均一性を達成するのにも役立ちます。最後に、OTFC-1300CGIは、優れたフィルムの均一性と精度を提供するために、高精度のメカニクスと精密光学で設計されています。コーティングプロセスに基づいて、オプションのモーションコントローラを使用して、その精度をさらに向上させます。この機械は、フィルムの均一性において高精度かつ再現性を実現することができ、複雑で大型のマスクをパターン化することができます。