中古 OPTORUN OTFC-1300 #293598129 を販売中

OPTORUN OTFC-1300は、ウェハレベルまたは基板レベルの製造アプリケーション向けに設計された高性能フォトレジスト装置です。システムは、処理チャンバ、露光光源、および制御および監視ハードウェアで構成されています。処理チャンバーは完全に囲まれており、均一な気候を可能にします。20°C〜25°C、湿度20％〜50％の温度を維持できます。機械にまた圧力に反対する機能があり、従って抵抗の露出の高い均等性を達成します。露光光源は、レジスト処理のための特定の波長でUV放射を提供します。最大精度のクアッドユニットとして構成されています。さらに、調整可能な露出サイズや位置精度などの特殊な機能は、ある基板から別の基板への優れた精度と結果の均一性を提供します。制御および監視エレクトロニクスは、PCインターフェースを使用してプログラムされます。これには、露出パラメータ、温度、湿度、圧力、および基板輸送の設定が含まれます。すべてのパラメータをリアルタイムで監視し、必要に応じて調整できます。データは、レビューと分析のためのグラフにプロットすることもできます。OPTORUN 1300はモジュラー構造で設計されており、既存のファクトリーオートメーションに簡単に統合されています。さらに、最先端の設計と高性能により、ダウンタイムを最小限に抑え、優れた結果の均一性で生産効率を向上させます。フォトレジストマシンは、半導体デバイスの製造におけるプロセス変動を低減し、品質を向上させることが証明されています。また、従来のスピンコーティングから、化学蒸着（CVD）、金属化、ドライエッチングなどの高度な技術まで、業界標準のさまざまなプロセスと高い互換性を持っています。全体として、OTFC 1300は、精密で均一で反復可能なレジスト露出を必要とするあらゆる半導体製造に最適です。サイクルタイムを短縮し、製品歩留まりを向上させ、生産性を向上させ、生産コストを削減することができます。