中古 OKK SRD #9144785 を販売中

OKK SRDは、基板表面のイメージングやパターンの開発に使用される変調型正フォトレジスト装置です。フォトレジストシステムは、エレクトロニクス用のプリント回路やフォトリソグラフィなど、さまざまな用途の基板上にパターンを作成するために使用されます。SRDシステムは、フォトレジスト、光源、開発ソリューションの3つの部分で構成されています。フォトレジストは、基板表面に適用される光感受性材料です。この材料が光源からの光にさらされると、フォトレジストの特定の領域は化学反応を起こし、材料は液体開発者の溶液中に溶けるか溶けないかのどちらかになります。これはフォトリソグラフィとして知られています。OKK SRDユニットの光源は、周期的に増減する光で構成された変調光です。光の強度を変化させることによって、フォトレジストの特定の領域が影響を受け、開発者ソリューションでそれらの領域を簡単に削除することができます。このマシンの利点は、単一レベルの光源を使用するよりも時間とコストがかかることです。SRDツールの開発ソリューションには、アニオンまたはカチオン性開発剤が含まれています。使用する開発剤の種類に応じて、光にさらされたフォトレジストの領域は多かれ少なかれ可溶になります。これにより、基板表面から不要なフォトレジスト材料を簡単に除去できます。結論として、OKK SRDアセットは革新的なフォトレジストモデルです。これにより、変調光源とアニオンまたはカチオンの開発者ソリューションを使用して、基板上のパターンを迅速かつコスト効率よく生成できます。その結果、マイクロエレクトロニクスデバイスやフォトリソグラフィープロセスの製造に広く使用されています。