中古 OKK SRD #9143993 を販売中

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OKK SRD
販売された
製造業者
OKK
モデル
SRD
ID: 9143993
ウェーハサイズ: 6"
Spin dryer, 6".
OKK SRDは、OKK Industrial Co。が開発したフォトレジスト機器です。Ltd。(株)主に半導体業界で使用され、マイクロチップ上の小さな構造の正確なパターン化を可能にします。これは、他の部品を保持しながらチップの一部を選択的に露出するために、光感受性材料を使用することによって行われます。フォトレジストシステムは、半導体ウェーハに堆積するUV敏感化学物質から始まります。これらの化学物質は、さまざまなフォトリソグラフィック法を使用してパターン化することができるレジスト層を形成します。パターンが紫外線源にさらされると、レジスト層が硬化します。これは、パターンを精密に基盤金属材料に転送することができますマスクを形成します。このプロセスは、半導体ウェーハにフォトレジストの薄い層を適用することから始まります。その後、ウェーハをフォトマスク上に置き、イメージングユニットを所望の露光波長と強度に調整します。フォトプロジェクターが撮影すると、紫外線がフォトマスクを通過してフォトレジストに伝わり、パターンが許す所を露出します。露出が正しい場合、レジストは露出パターンに沿って硬化し、露出していない部分は簡単に洗い流されます。次のステップでは、エッチング薬品をウェーハに塗布します。これは、露出したレジスト層によって吸収され、硬化していない部分には影響されません。エッチングが進むにつれて、フォトマスクのパターンがウェーハの表面にエッチングされます。所望の結果に応じて、エッチングは非常に小さく複雑なデザインを作成するために、より高い精度で行うことができます。エッチングが完了すると、ウエハーの表面にパターンを残すだけでレジスト層が除去されます。さらに詳細を追加する必要がある場合は、プロセスを繰り返すことができ、別のレイヤーよりも高い精度を得ることができます。このプロセス全体はリソグラフィとして知られており、非常に小さなサイズで部品を正確に生産することができます。SRDは、最高品質のフォトレジストを提供し、シリコン、石英、ガラスなどのさまざまな基板に取り付けることができます。さらに、光の感度範囲は深い紫外線から可視スペクトルまで広がり、ハイエンドの光学リソグラフィープロセスと一般的な回路要件の両方に役立ちます。全体的に、OKK SRDは、正確なパターンを簡単に提供する優れたフォトリソグラフィックマシンです。ユーザーフレンドリーな操作により、さまざまな業界で採用されていますが、マイクロチップなどの小規模部品の製造には特に優れています。さらに、光の感度の広い範囲で、その使用法は、単なる光学リトグラフィーを超えてはるかに広がっています。
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