中古 NTACT nSpire #9238175 を販売中

NTACT nSpireは、ナノデバイス製造のためのフォトリソグラフィーソリューションを可能にするように設計されたフォトレジスト機器です。光を利用して基板上にパターンを作成するナノスケール加工法です。NSpireシステムは、フォトリソグラフィープロセスを可能にするために協力する3つの主要なコンポーネントで構成されています。まず、このユニットには、フォトリソグラフィ処理に必要な材料を基板に供給するフォトレジストプロセッサが含まれています。このプロセッサは、正確なパターニングのために一貫した均一なコーティング厚でフォトレジスト材料を提供することができます。第二に、光を基板に導くための照明と特殊光学を提供する光学イメージングツールで構成されています。この光学系は、フォトレジスト材料に吸収される波長の非常に集中した光を提供するように設計されています。これにより、ビームは基板上に正確で反復可能なパターンを作成することができます。第三に、この資産には、レンズと基板を互いに相対的に配置し、可能な限り最高のイメージング品質を確保する役割を果たすZステージプラットフォームが含まれています。さらに、露光プロセス中に基板が望ましい向きと移動範囲を維持することを保証します。最後に、モデルはフォトリソグラフィープロセスのすべての側面を管理するオペレーティングソフトウェアによって実行されます。これには、すべてのコンポーネントとサブシステムの制御、設定の調整、レシピの選択と読み込み、プロセスの監視が含まれます。ソフトウェアはまた、データロギングと後処理のレビューと分析のための記録保持を可能にします。全体として、NTACT nSpireは高精度フォトリソグラフィーソリューションのonestop企業です。基板の画像形成、正確なパターニング機能、高いスループット、幅広い用途に対応する幅広いプロセスオプションを提供します。NSpire装置は、ナノスケールのデバイスを製造しようとするメーカーに、信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。