中古 NOVELLUS / LAM Saber XT #9224442 を販売中
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ID: 9224442
ウェーハサイズ: 8"
Cu Plating system, 8"
System controller
Module controller
Cassette handler controller
Main system:
Wafer cassette: 25 wafer
Mini-environment: SYNETICS
Chase computer / monitor: Desktop PC/CRT
Exhaust kit: TOP Mount
Drain kit: Backside
Cassette handler module:
Load port: Static nests, (4) stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
Robot type: AQR7 BROOKS
End effector: SST x/ Vacuum port
Mapping type: Thru-beam
Wafer release: With puff
Plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Clamshell type: Standard
Clamshell cup type: PPS
Clamshell cylinder: Pressure-vacuum cylinder
ANODE Type: Standard
(2) TI Cables
SAC
Clamshell lift: IAI
ACR
Active top hat
Plating power supply: AE Pulse power supply
Post plating cell configuration:
Cell 1, cell 2 and cell 3:
Chuck type: PPS
Wafer present sensor mount: Standard
EBR
Bath module:
Totalizer #1 & #2 manufacture: FLORITE
Dosing pump 1,2 &3: MS1602-024
Recirculation pump: IWAKI WALCHEM CMD-101
CDM Level sensor type: KEYENCE
Heat exchanger: NESLAB HX-75
Auxiliary equipment:
Chemical monitoring system (CMS): ECI QLC-7000
Chemical delivery system (CDS): OEM
Mini delivery system (MDS): OEM
DI Water delivery system: OEM
Input voltage: 208 VAC, 50/60 Hz, 100 A.
NOVELLUS/LAM Saber XTは、さまざまな要求の厳しい産業用途で使用するために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、特許取得済みのシングルユースおよびシングルステッププロセスを使用して、ユーザーフレンドリーで費用対効果の高い精度イメージングを提供します。このユニットの先進的なフォトレジスト技術は、イメージングに関して高いスループットと比類のない精度の両方を提供するように設計されています。それは非常に適応性が高く、最適なパフォーマンスレベルで動作しながら、異なるジョブに迅速にセットアップできます。この技術はまた、フォトレジストイメージングにおいて最高レベルの解像度、精度、再現性を保証します。LAM Saber XTは、高度なレーザーベースのアプローチを利用した特殊な高出力光学イメージングマシンを搭載しています。シグネチャーレーザーベースのアプローチは、ツールが信じられないほど高いレベルの精度を維持することを可能にするものです。この資産は、直感的でプログラマブルなデータロギングモデルなどの生産性向上の機能や、監視制御のためのリアルタイムのパフォーマンス監視を容易にするように設計されています。この機器のハードウェアには直感的なソフトウェアスイートが付いており、柔軟性と使いやすさの両方を最大限に活用できるように設計されています。プログラム可能な機能を搭載したソフトウェアは、特定のタスクのニーズに合わせて簡単にカスタマイズできます。これは、簡単で信頼性の高いフォトレジストイメージングシステムを必要とするユーザーに最適です。最後に、NOVELLUS Saber XTは非常に耐久性と柔軟性を備えて設計されています。その頑丈な部品は、長寿を最大化し、潜在的なメンテナンスを最小限に抑えるために囲まれたユニットに収容されています。さらに、Saber XTは、極端な温度や放射線など、さまざまな環境条件で安全に動作するため、幅広い産業用途に最適です。結論として、NOVELLUS/LAM Saber XTは業界をリードするフォトレジストマシンであり、さまざまな要求の厳しい産業タスクに精密イメージングを提供するために独自に設計されています。その高度なレーザーベースのイメージングツール、直感的なソフトウェア、耐久性のある構造により、信頼性と信頼性の高いパフォーマンスをお探しの方に最適です。
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