中古 NIDEC SD103 #9115732 を販売中

NIDEC SD103は、NIDEC株式会社が開発した先進的なフォトレジスト装置で、選択した基板にレジストパターンを正確かつ正確にエッチングできるように設計されています。このシステムは、DRAM、 SRAM、 ROMチップなどの半導体チップを処理するように設計されており、コーティングされたウェーハ上でその機能を実行することもできます。フォトレジストプロセスは、選択した基板にフォトマスクを配置し、開発する機能のサイズに最適化された露光光源に従うことです。レジストパターンは、開発者ソリューションで開発され、光にさらされた領域を削除します。基板の露出した部分がエッチングされた部分になり、露出していない部分がエッチングされない部分になります。NIDEC SD-103ユニットは、0.2µm x 0.2µm以下のフォトレジストパターンを実現するエリアリダクションマシンを搭載しています。また、高解像度の画像キャプチャツールを搭載しており、連続した画像の違いを検出して表示することができます。この資産は、エッチングの一貫性を確保するために設計されています。SD103モデルはまた、さまざまなタスクを処理することができる完全に自動化された処理装置を備えています。このオートメーションを使用すると、温度調整から圧力制御まで、特定のニーズに合わせてシステム設定をプログラムできます。さらに、ユニットは、単一のパスで複数のレジストステップを実行することができるので、全体的なプロセス時間を短縮することができます。SD-103フォトレジストマシンは、ツールが最高の標準とその指定された動作パラメータ内で機能することを保証するために、幅広い安全機能を備えています。自動化された安全資産は、圧力、温度、およびその他の要因を常に監視して、プロセスへの損傷を防ぎます。この高度なフォトレジストモデルは、精度と精度をお探しの方に最適です。自動化された機能と安全機能により、エッチングプロジェクトの規模や規模に関係なく、NIDEC SD103装置がユーザーの要件を満たすことができます。