中古 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9289374 を販売中

NEXX SYSTEMS Stratus 300は、半導体製造プロセスで使用されるフォトレジスト機器です。ウェーハ上に高品質のパターンをエッチングするために特別に設計されており、1µm/line幅まで高解像度のパターン機能を備えています。Stratus 300は、365nmの波長で最大3J/cm2の露出エネルギーを生成できる高度なマルチビームUVソースを備えた最先端のフォトレジスト技術を提供します。また、ハイコントラスト比と低反射による最適波長最適化システムを搭載し、エッチング精度を向上させています。NEXX SYSTEMS Stratus 300は、重要な機能を測定するための統合計測機を備えた完全に自動化されたアライメントユニットを備えており、最大8インチのウェーハに対応できます。このツールは、ウェーハ交換と迅速なロードとアンロードのための動的交換メカニズムを利用しています。Stratus 300は、高解像度エッチング機能に加えて、関連するすべてのフォトレジストエッチングのレシピを追跡、制御、レポートするための高度なコンピュータソフトウェアを使用したデータ処理および制御システムを提供しています。これにより、品質管理と詳細なエラー追跡の結果を監視および記録することができるため、より迅速で正確なエッチング作業が可能になります。NEXX SYSTEMS Stratus 300には、最大レチクルサイズ75mmの独自のオートフォーカス機能が搭載されており、ナノメートルレベルまでの高精度エッチングが可能です。さらに、オートレベリングアセットにより、マスクの傾き、フォーカス、レジストの厚さ、露出などのプロセスパラメータを制御することで、ウェーハ全体でエッチングが均一になります。全体として、Stratus 300は豊富な機能と機能を備えた高度で信頼性の高いフォトレジストモデルです。NEXX SYSTEMS Stratus 300は、高解像度のエッチング精度とエッチング処理を正確に制御できるため、半導体製造に最適なソリューションです。