中古 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9278180 を販売中

NEXX SYSTEMS Stratus 300は、最も要求の厳しいフォトレジストプロセスの厳しい要件を満たすように設計された世界クラスのフォトレジスト機器です。高いスループット、正確、再現性、再現性に優れた処理を費用対効果の高い方法で提供します。Stratus 300は、多層金属化、薄膜形成、ドライエッチングなど、すべての標準的なフォトレジストプロセスに適しています。それは最小限の汚染の優秀な抵抗のプロフィールの均等性を提供し、複数の露出ステップの速く、精密なタイミングのために設計されています。その高スループットシステムは、最高200層/分のプロセス速度で、一貫した結果を生み出します。NEXX SYSTEMS Stratus 300には、いくつかの高度な機能が組み込まれています。その多段プレベーキングモジュールは、蒸着とエッチングを改善するための高効率のプレクリーニングプロセスを提供します。プリベーキングモジュールは、高温プロセスでのレジスト割れを防止し、フォトレジスト結晶化の際に均一なレジスト薄型化を保証します。Stratus 300は、マシンの操作を簡素化し、露出パラメータの完全な柔軟性を提供するユニークな制御ユニットを備えています。Control Consoleには、複数の露出サイクル、プログラマブルロジック機能、PIDフィードバック制御およびダンパー、およびレシピ管理用のデータベースが含まれています。NEXX SYSTEMS Stratus 300には、高解像度のマイクロアパーチャアライメントツール、ナノスポット均一性およびスポットマッチングアルゴリズム、および均一性と再現性を向上させる自動基板ジェスチャートラッキング資産など、多くの高度な機能が含まれています。Stratus 300は、高価なフォトレジスト製品の低コストで信頼性の高い処理用に設計されています。その柔軟なフロントエンド材料モデルは、装置を複数の化学物質や基板と非常に互換性があります。NEXX SYSTEMS Stratus 300は、汚染を最小限に抑え、単層および多層プロセスに適しているため、スループットを高速化し、市場投入までの時間を短縮できます。