中古 NEXX SYSTEMS Stratus 300 #9244887 を販売中
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ID: 9244887
ウェーハサイズ: 8"-12"
Plater, 8"-12"
Plating materials: Cu, Co, Sn and Ni
Manuals included.
NEXX SYSTEMS Stratus 300は、マイクロエレクトロニクス製造用に設計されたフォトレジスト機器です。その主な利点は、高解像度イメージング、低溶媒の消費、高度なプロセス制御です。フォトレジストは、シリコンウェーハやプリント基板(PCB)などの基板に機能をエッチングする過程で使用されます。フォトレジストは、製造中に基板の特定の領域を保護するために化学的に処理することができる光感受性材料です。Stratus 300フォトレジストシステムは、コーティングユニットとレジスト加工機の2つの主要なプロセスで構成されています。コーティングツールは、自動スピンコーティングプロセスを使用して、フォトレジストの均一な層を基板に適用します。最適なコーティング厚さのために、スピン速度とディスペンス時間を制御できます。レジスト処理アセットは、基板の露出と開発に使用されます。シャッター内蔵の水銀アークランプを採用し、露光時間を短縮します。NEXX SYSTEMS Stratus 300には、最大18個のトレイに対応できる自動エッグトレイローダーが搭載されています。それはまた化学レベル、温度および時間を制御するために形成することができる十分に統合された化学適量モデルを含んでいます。Stratus 300は、高度なプロセス制御と優れた解像度を提供します。シャッタースピードは1ミリ秒未満に設定することができ、非常に正確で一貫した露光時間を可能にします。さらに、NEXX SYSTEMS Stratus 300は、複数のマスクフォーマットとさまざまな波長露光システムの使用をサポートしています。全体として、Stratus 300は優れたプロセス制御と解像度を提供する最高級のフォトレジスト機器です。高度なオートメーションと統合された化学用量システムにより、大量生産に適しています。このユニットは、マイクロエレクトロニクス製造に最適であり、低溶剤消費によるコスト削減と歩留まりの向上を提供することができます。
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