中古 NEC FC-9821Ka #293663397 を販売中

NEC FC-9821Kaは、NECが開発した各種薄膜成膜・エッチング用途向けフォトレジスト装置です。このシステムは幅広い基板を処理し、10nmまでの比類のない分解能を提供します。このユニットは、LCOS （Liquid Crystal on Silicon）技術の最新技術を使用して、フォトレジストを比類のない方法で集中させます。FC-9821Ka機械は特徴の精密な特徴化のためのウェーハの点検技術の最も最近を含んでいます。このツールは、トレンチ、充填、サブミクロン設計のエッチング、サイドウォール成膜などの高度なパターニングアプリケーション用に設計されています。露出プロセスは、フォトリソグラフィープロセスに基づいています。高度なLCOSベースのレチクル制御アセットとレーザーコントロールされたFocus Latch Alignment （FLA）モデルにより、機器は比類のない解像度を提供できます。システムで使用されるフォトレイストは高純度であり、150nmまでパターン化することができます。また、NEC FC-9821Kaには、薄膜材料のエッチングおよび乾燥蒸着用のプラズマフォーカスイオンビーム（PFIB）ユニットも搭載しています。ヘリウムグロー放電源は、優れたプラズマエッチング選択性を可能にし、比較的低い運用コストを提供します。PFIBマシンはまた、高度なフォトリソグラフィのための繊細なマスキング層を処理するために超高輝度で構築されています。FC-9821Kaに含まれているコーター開発ユニットには、化学およびスピンコーティング機能が含まれており、基本的な状況から超複雑状態まで、さまざまなフォトレジスト用途を提供します。統合された露出後のベーキングプロセスにより、正確で再現性のあるウェーハ処理結果が保証されます。稼働時間を最大化するために、このツールには印刷および開発カートが装備されています。それは遠隔に制御され、手動介入なしで機械のすべての特徴を行使できます。診断は、処理が困難なウェーハまたはガラス片を識別するのに役立ちます。また、プロセスの最適化により、再現性と精度が向上します。結論として、NEC FC-9821Kaは優れた機能と信頼性を提供する汎用性と強力なフォトレジスト資産です。その高度な技術とパラメータに対する深い制御により、このモデルはさまざまな薄膜成膜およびエッチング用途に使用することができます。PFIBとコーター開発システムが統合されているため、運用コストを最小限に抑えながら、高精度で再現性に優れています。