中古 MUSCAT SPL-455 #9198107 を販売中

マスカットSPL-455は、半導体製造プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト機器です。三菱ケミカルが開発した高純度・高均一・高信頼性のフォトリソグラフィ用途を幅広く提供します。従来のフォトレジストシステムとは異なり、SPL-455は高温に耐えるように設計されているため、高温安定性を必要とするペリクル処理やその他のウェハレベルのプロセスに最適です。このシステムは、電気化学的エッチングバスと高純度光活性剤で構成されており、紫外線にさらされると基板上に電気化学反応を起こし、フォトレジスト層をエッチングします。MUSCAT SPL-455の光活性剤は、塩、酸、酸化剤、フォトレジスト溶媒などの安定化剤を含む、いくつかの高純度化合物の混合物で構成されています。エッチングバスが紫外線にさらされると、光活性剤中の化合物が充電され、電気化学反応が誘発されます。これによりフォトレジスト層のエッチングが可能となり、従来のフォトレジスト系よりもはるかに高い分解能と再現性が得られます。電気化学エッチバス自体は、温度と化学レベルを一貫して正確に維持するように設計されており、頻繁なメンテナンスや校正を必要とせずに再現性と品質を実現します。また、エッチング速度やエッチング速度など、カスタマイズ可能な複数のパラメーターや、自動化を改善するために設計された高度なツーリングやソフトウェアなど、さまざまなプロセス制御メカニズムを提供しています。SPL-455は、幅広い機能を備え、汎用性に優れた信頼性の高い高品質フォトレジストマシンで、半導体製造プロセスに最適です。その先進的な材料、技術、プロセスにより、このツールはユーザーに比類のない信頼性とパフォーマンスを提供します。