中古 MTS Marangoni #9165831 を販売中
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タップしてズーム
ID: 9165831
ヴィンテージ: 2012
Dryer
N2 Flow -SCFH (SLPM):
Heated N2, High flow
Min: 636 (300)
Max: 1059 (500)
Typical: 850 (400)
Heated N2, Low flow
Min: 50 (23.5)
Max: 75 (35.4)
Typical: 60 (28.3)
IPA Bubbler
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
IPA Purge
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
Static purge
Min: 30 (14.1)
Max: 60 (28.3)
Typical: 50 (23.5)
Chassis purge
Min: 10 (4.7)
Max: 20 (9.4)
Typical: <15 (7.1)
N2 Temperature:
Heater core: Ambient to 200°C
Heater over-temp:
External surface (Snap switch): 162°C
Heater core: 250°C
Gas temp:
Programmable
Ambient to 160°C
130°C typical
DI Water flow:
During process: 10-15 GPM (38-57 LPM)
Idle (Trickle flow): 1.5 GPH (.09 LPM)
Process capacity (Wafers per run):
Dual tanks: (50) 6" wafers-two cassettes of 25 wafers
Single tank: (25) 12" Wafers
Down and move out time: 6 Hours
Currently installed
2012 vintage.
MTS Marangoniは、フォトレジストコーティングを必要とする製造プロセスの高精度と効率を確保するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、特許取得済みの超精密液体コーティング法を採用しているため、無駄や損失を最小限に抑えながら、フォトレジストを効率的かつ確実に基板に適用することができます。このフォトレジストユニットは、ユーザーにさまざまなカスタマイズオプションを提供し、コーティングを特定のニーズに合わせて調整することができます。その結果、優れた機械特性と高い光学透明度を持つフォトレジストフィルムが得られます。Marangoniフォトレジストは、特別に設計されたロボットマシンを使用して分配されるUV感受性ポリマーソリューションです。ほとんどの材料に高精度で再現性のあるコーティングを施しているため、廃棄物を最小限に抑えた高精度の大型部品を製造することができます。MTS Marangoniツールはまた、最適な光学特性のためにフィルムの厚さを管理するための厚さ制御の範囲を提供しています。フォトレジストは、溶液を小さな液滴に噴霧する一連の精密ノズルを使用して分配され、均一なカバレッジと最大の性能を確保します。この液滴沈着プロセスにより、フォトレジストがボイドや不適合なしに基板表面に均一に適用されることが保証されます。Marangoniアセットはまた、レイヤーの数とトラックの幅を制御する機能を含む、多くの柔軟性の調整を提供しています。これにより、ユーザーは複数のフォトレジスト層を正確かつ一貫して適用できるようになります。MTS Marangoniフォトレジストモデルは、フォトレジストコーティングプロセスをより簡単かつ効率的にするように設計されています。無駄な時間と製品を排除することで、マランゴニ機器は、ユーザーが最小限の労力とコストで優れたフォトレジストフィルムを生産することができます。MTS Marangoniフォトレジストシステムは、シンプルで堅牢な設計により、ユーザーに精度、信頼性、効率的なワークフローを提供します。
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