中古 MTS 1913-E01 #9046517 を販売中

MTS 1913-E01は、マイクロエレクトロニクス製造プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト機器です。半導体製造の基板加工で最も一般的なプロセスであるthespinコーティング工程で使用されるように設計されたスピン型フォトレジストシステムです。フォトレジストユニット1913-E01、基板に適用されるフォトレジストである感光レジストと、非アクティブで露出したレジスト部分を除去するために使用される開発者の2つのコンポーネントで構成されています。センサレジストは、塗布時に基板上にフィルムを蓄積させる成分を含んだ水溶性液体製造製品です。特定の波長の紫外線に化学反応します。紫外線にさらされた後、基板は開発者ソリューションを使用して開発されます。開発者ソリューションには反応性化合物が含まれており、活性化すると露出したフォトレジスト材料だけがエッチングされ、基板上にエッチングパターンが発生します。MTS 1913-E01フォトレジストマシンは、多種多様なマイクロエレクトロニクスプロセスで大きくテストされ、使用されています。優れた解像度と優れたエッジ定義を備えた高性能ツールです。また、レジスト残量の優れた均一性を提供し、正確なレイヤーとフィーチャー寸法を達成するために正確に制御することができます。このプロセスにより、マイクロエレクトロニクス製造のための信頼性が高く、費用対効果の高いフォトレジスト資産が得られます。このモデルは使いやすく、オペレータートレーニングを最小限に抑え、手作業による前処理の必要性を排除します。また、クリーンでクールな環境で保管すると、保存性に優れています。さらに、その高溶剤抵抗は、それが攻撃的な有機溶剤に抵抗することができます、酸と塩基。結論として、1913-E01フォトレジスト装置は、半導体およびマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に理想的な選択肢であり、解像度、エッジ定義、層均一性、費用対効果、および積極的な溶媒との互換性に優れた結果を提供します。