中古 MTI FLEXIFAB #97296 を販売中

MTI FLEXIFABは、複雑な半導体デバイスの製造のためにMaterial and Testing Instruments （MTI）によって開発されたフォトレジスト機器です。このシステムは高い柔軟性を提供し、ブラインドビア、ステップカバレッジ、表面プロファイルなど、幅広い構造を作成できます。ユニットは、フォトレジスト蒸着機とパターンジェネレータの2つの主要コンポーネントで構成されています。フォトレジスト蒸着ツールは、基板全体にフォトレジストの層を均一に堆積させるように設計されています。高容量の自動レジストスピナーを使用して、レジストアプリケーションプロセスを正確に制御します。スピナーは、異なる速度でレジストを堆積することができ、非常に反復可能であり、異なる基板間で一貫した結果を得ることができます。2つ目のコンポーネントはパターンジェネレータです。このデバイスは、エッチング工程のガイドとして機能する堆積フォトレジストにパターンを印刷するために使用されます。パターンは、作成された構造のサイズと形状を正確に制御するためにアセットにプログラミングすることができます。このデバイスには、パターンの欠陥を識別するために使用できるカメラも含まれており、必要に応じて調整することができます。これら2つのコンポーネントの組み合わせは、従来のフォトリソグラフィープロセスよりも多くの利点を提供します。その利点の1つは、従来のリソグラフィ技術では不可能だった複雑な立体構造を作成するモデルの能力です。さらに、レジストアプリケーションとパターニングプロセスに対する高精度な制御により、ライン分解能が向上し、プロセスの再現性が向上します。全体として、FLEXIFABは複雑な半導体デバイスを製造するための非常に効果的な装置です。精密な制御と柔軟な機能により、ライン解像度、歩留まり、再現性を向上させた非常に複雑なデザインを作成できます。そのため、最新の半導体生産プロセスに最適です。