中古 MTI FLEXIFAB #83580 を販売中

MTI FLEXIFABは、半導体製造のためのウェーハの製造と加工を簡素化するフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィを加速し、高度な3Dアーキテクチャのウォールエッチプロセスと異機種混合を介して設計されています。このシステムは、あらゆる標準的な製造設備に統合することができ、汎用性と拡張性を可能にします。FLEXIFABは「Smart Flex」と呼ばれる特許技術を搭載しており、ラインステッチ、オーバーレイ、登録の問題の解決を自動化します。このユニットの拡張性は、最大8インチの基板を可能にし、最大0.2µmの微細な機能分解能を備えた25mmサイドウォールオプションを備えています。Smart Flex機能は、適切なフィルム形成のための統合されたプロセス制御を保証し、1µmを超える望ましい膜厚の20µmを達成し、レジスタレスウェーハ登録を行うことができます。フォトレジストマシンは、フォトレジストパターニングとエッチバックのさまざまなステップを1つの機器に統合することで、大量のスループットを提供します。これにより、プロセスが合理化され、製造コストが削減されます。このツールは使いやすく、オペレータの介入を最小限に抑え、均一性と歩留まり性能を向上させます。アセットのリアルタイムのプロセス監視と制御により、効果的なプロセス管理が可能になり、スループットの向上と歩留まりの改善が可能になります。MTI FLEXIFABは、シリコンからGaAsまで、エッチング、ウェット、ドライクリーニング、ストリッピング、ナノ構造形成など、さまざまなプロセスに対応しています。高度な光学検査モデルを搭載し、強力なプロセス生成とレビューを提供し、歩留まりを最大化し、貴重な労働時間を削減します。この装置は、チップ上のフォトレジスト、層ごとに処理し、電子機器製造のための手動のリトエッチパターニングを事実上廃止します。エレクトロニクスの高速プロトタイピング用に設計されており、開発サイクルの短縮、コストコントロールの向上、製品性能の向上を可能にします。このフォトレジストシステムは、歩留まりを向上させ、生産サイクル時間を短縮し、コスト効率をさらに向上させるのに役立ちます。