中古 MTI FLEXIFAB #16662 を販売中

MTI FLEXIFABは、Molecular Track Imaging （MTI）が指向性エネルギー用途向けに開発したフォトレジスト装置です。FLEXIFABは、特定のパターン化されたフォトレジスト層を含むポリマーベースのリソグラフィー技術を使用しています。フォトレジスト材料は、さまざまな所定の経路に沿って紫外線の露出に異なる応答します。画像対基板比（I/S比）やその他のパラメータを制御することで、複雑な基板全体で希望のパターンを達成できます。MTI FLEXIFABは、比類のないリソグラフィの汎用性を備えた機能対応システムです。最新のDeep UV （DUV）システムに匹敵する解像度を実現できますが、高価なDUVハードウェアは不要です。このユニットは、統合されたコンピュータハードウェア、カスタムソフトウェア、ウェーハ認識およびキャリブレーション機能、および直感的な操作で高度にプログラム可能です。FLEXIFABマシンは、高速動作のために特別に設計されており、マイクロエレクトロニクスデバイスの迅速なターンアラウンドを可能にします。ソフトダイレクトライト（SDW）やダイレクトイメージング（DI）などのフォトレジスト用途に最適な結果を提供します。MTI FLEXIFABは、動的ランダムアクセスメモリ（DRAM）およびアプリケーション固有の集積回路（ASIC）の製造に成功しました。FLEXIFABは、リソグラフィースコープの優れた精度を提供します。このツールは、非常に鮮明で均一な画像を作成することができます。自動キャリブレーションとウェーハ認識機能と、複数のフォトマスクと基板を使用することで、構造の完全なアライメントの面で柔軟性と精度を実現します。このアセットで使用されるフォトレジストは非常に高解像度であり、最大10,000Xの光学倍率を可能にします。このモデルは、特にマイクロエレクトロニクスデバイスの量産に適しています。既存の技術を精製し、新しい技術を設計する費用対効果の高い方法を提供することができます。さらに、装置は複数の基板およびフォトマスクと互換性があります。これにより、再現性と精度の高い大量の製品を迅速に製造することができます。結論として、MTI FLEXIFABシステムは、その高度な機能、プログラマビリティ、および速度によって明らかに非常に効率的で技術的に高度なフォトレジストユニットです。それは非常に細かい画像を可能にし、複数の基板やフォトマスクと互換性があります。統合された機能、ウェーハ認識、再現性により、費用対効果の高い方法でマイクロエレクトロニクスデバイスの量産に最適です。