中古 MITSUI SEIKI SP-40D #9230484 を販売中

三井精機SP-40Dは、高解像度の半導体デバイスをパターニングするために設計されたフォトレジスト機器です。このシステムには、高度なマイクロプロセッサ制御光学ユニット、高解像度光学、フォトレジスト露光プロセスを制御するための高度なソフトウェアが装備されています。シリコンウェーハなどの半導体基板のパターニングに最適な機械です。このマシンは、高度な光学ツール、照明源、およびウェーハ登録に正確なマスクを提供するための高精度スキャン機構で構成されています。照明の源は電子銃または高い発電LED源である場合もあります。LEDソースは、電子銃よりも幅広い露光条件で高い分解能を提供することができます。光学アセットは、目的のセットと正確な露出アラインメントを可能にする電動ステージで構成されています。このモデルには直感的なユーザーインターフェイスも装備されており、パラメーター設定とプロセス制御が簡単に行えます。プロセス監視、データロギング、プロセスシミュレーション、およびプロセスを最適化するためのデータ分析を提供します。また、フォトレジスト露光アルゴリズムを制御するための各種ソフトウェアもサポートしています。SP-40Dにはオートフォーカス機能が内蔵されており、オートフォーカス設定が可能で、フォトレジスト露出のプロセスがさらに簡単になります。また、スピンコーティング、エッチング、接触印刷、ウェーハ切断、パターンチェックなど幅広いプロセスを提供します。また、照明強度、露光時間、スキャン速度、露光後のベーク時間など、さまざまなプロセスパラメータのオプションも提供します。三井精機SP-40Dは、半導体デバイスのプロセスにおいて、高精度で高解像度のフォトマスクを提供できる強力で信頼性の高いフォトレジストマシンです。ユーザーフレンドリーに設計されており、個々のアプリケーションのニーズに応じて簡単に設定できる幅広い機能と機能を提供しています。半導体業界のさまざまなパターニング用途に使用できます。