中古 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE #9280828 を販売中

MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SEは、リソグラフィやプリント基板の基板の露出に使用されるフォトレジスト機器です。MP-1408SEは、UV照明を提供する真空紫外線（VUV）ランプ源、金属またはクロムマスクを保持するマスクステージ、ランプとマスクの間の光路、基板を確実に保持して移動する基板ステージで構成されています。ランプ源はライン集中されるVUVビームを作り出します。システムには複数のフォーカシングレンズが使用され、高度に調整された光路を通してビームを導きます。これにより、ビームを小さな点に集中させることができ、基板上に高解像度の画像を提供します。このユニットには、基板全体の均一性を確保するための拡散コリメータと、迷惑な排出から保護するためのシールドも含まれています。マスクステージは、金属またはクロムマスクを基板上に保持する高精度、超安定機です。ステージは、露出のためのマスクを整列し、安定させるローラーツールで構成されています。また、2つの精密グレードの線形ステージが含まれており、1つは水平用、もう1つは垂直用で、マスクを基板に正確に集中させることができます。基板ステージは、長さ25mmまでの任意のサイズまたは形状の基板を保持するように設計されています。露出工程中、基板をしっかりと固定する7ポジションチャックを備えています。チャックはロータリーアクチュエータに取り付けられ、基板の正確かつ再現性の高い位置決めが可能です。また、ステージにはUVフィルターを搭載し、ランプの放射から基板を保護します。MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SEは、信頼性が高く、汎用性の高いフォトレジスト資産です。素材の正確で再現性の高い位置決めを可能にしながら、素早く正確な露出を実現します。高精度の光学部品と堅牢なステージにより、優れた画質と均一性を実現します。ポリイミド、シリカ、ガラスなど様々な基材を露出することができます。さらに、調整可能なパワーランプ制御により、ビームの明るさを微調整し、最適な解像度と露光時間を実現します。